我國有了光刻機核心技術

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科技日報北京5月13日電 （記者林莉君）對於普通人來說，光刻機或許是一個陌生的名詞，但它卻是製造大規模集成電路的核心裝備，每顆晶元誕生之初，都要經過光刻技術的鍛造。記者13日從清華大學獲悉，國家科技重大專項「光刻機雙工件台系統樣機研發」通過驗收，使我國成為少數能研製光刻機雙工件台這一超精密機械與測控技術領域尖端系統的國家之一。

「簡單地說，光刻機就是把工程師的設計『印入』基底材料，其核心技術長期被荷蘭、日本、德國等把持。」「千人計劃」專家、從事密碼晶元研發的九州華興集成電路設計公司首席科學家丁丹在接受科技日報記者採訪時說，「我們研發的晶元投入生產時，130納米的晶元開模就是120萬元人民幣，而28納米的晶元開模費用高達上千萬元人民幣。」

據介紹，為了將設計圖形製作到矽片上，並在2—3平方厘米的方寸之地集成數十億晶體管，光刻機需達到幾十納米甚至更高的圖像解析度。而光刻機兩大核心部件之一的工件台，在高速運動下需達到2納米（相當於頭髮絲直徑的三萬分之一）的運動精度。因此光刻機雙工件台又被稱為「超精密技術皇冠上的明珠」。

專家組認為，歷經5年攻關，研究團隊研製出2套光刻機雙工件台掩模台系統α樣機，關鍵技術指標已達到國際同類光刻機雙工件台水平，並獲得專利授權122項，為後續產品研發和產業化打下了堅實基礎。

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