外媒：晶元代工會導致不孕

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國外媒體日前發表分析文章稱，早在25年之前，美國科技公司就已承諾在產品製造過程中終止使用導致員工流產和新生兒缺陷的化學物質。雖然美國科技公司把製造業務外包給了亞洲供應商，但是在此後的25年中，他們並沒有確保亞洲供應商的員工也得到相同的保護。以下為文章全文：

流行病學的結果往往是模稜兩可的，而且金錢可以蒙蔽科學（見：煙草公司與癌症研究者）。明顯的病例是罕見的。不過在1984年的一天，這種情況出現在了馬薩諸塞大學艾摩斯特分校新任流行病學副教授哈里斯-派斯泰茨（HarrisPastides）的辦公室。

一位通過學校介紹擔任DigitalEquipment公司健康和安全官的研究生詹姆斯-斯圖爾特（JamesStewart）向派斯泰茨說，在公司位於馬薩諸塞哈得森半導體工廠的周圍，孕婦的流產率極高。女性尤其是育齡女性，當時佔據了美國科技產業生產崗位的68%。而且斯圖爾特還掌握一些局外人不了解的情況：製造計算機晶元涉及到數百種化學製品。雖然在生產線上工作的女性都在所謂的潔凈室工作，而且身著保護服，但這只是對晶元的保護，而不是對員工的保護。這些女性員工被暴露在化學物質中，在某些情況會更是會直接接觸到包括生殖毒素、誘變劑和致癌物質的化學物質。生殖危害是職業健康最嚴重的問題之一，因為員工未出生的孩子可能會患有缺陷或兒童疾病，而且生育問題也是員工患上其它疾病，特別是癌症的的先兆。在員工得知患病之前，他們根本無法知曉這些情況。

在DigitalEquipment同意支付研究經費後，身為疾病群聚專家的派斯泰茨開始對此著手進行研究。在1986年年底完成數據採集工作後，結果令人震驚：該工廠女性員工的流產率是預期數值的兩倍。當年11月，這家公司向員工和美國半導體產業協會（theSemiconductorIndustryAssociation）披露了調查結果，然後又把它公佈於眾。雖然派斯泰茨和他的同事被一些人譽為英雄，但他們在半導體產業卻遭受了非議。

代表著IBM、英特爾和十多家美國大型科技公司的半導體產業協會，為此成立了專門工作組；這協會的專家們也緊急飛往溫莎洛克斯，在巴拉德利國際機場附近的一家酒店與派斯泰茨本人進行會談。「那一天正好是1987年1月的『超級碗周日』。我能夠清楚的記得那一天，是因為它就像是審判日一般，」派斯泰茨回憶說，「當時會議的氣氛充滿了敵意。」美國半導體產業協會的內部記錄顯示，在這次會談後不久，該專門工作組就得出了結論：派斯泰茨的學術報告存有「重要缺陷」。

不過迫於公眾壓力，美國半導體產業協會的會員企業同意出資對此問題繼續進行調研。加州大學戴維斯分校的科學家設計出歷史上最大的工人健康研究之一，涉及到半導體產業協會的14家會員企業，42座工廠以及5萬名員工。IBM並未參加這項研究，而是選擇聘請約翰霍普金斯大學對自己的工廠進行調研。約翰霍普金斯大學團隊負責人阿道夫-科瑞亞（AdolfoCorrea）回憶說，IBM當時之所以選擇這種方式，是因為這家公司的高管聲稱IBM的工廠要比其它公司的工廠更加安全。

在流行病學上，後續研究通常會變得越來越困難，因為這個原因研究結果會常常互相抵觸。但是到了1992年12月，發生了一些罕見的事。上述三項均由半導體產業付費的研究都顯示出類似的結果：身處化學製品環境中的女性，她們的流產率要比普通女性的流產率高出一倍。這一次半導體產業做出了迅速反應。半導體產業協會列舉出了一系列晶元製造過程中廣泛使用的有毒化學物質，並要求成員企業加速淘汰使用這些化學物質。IBM的反應更加積極：這家公司承諾1995年年底之前在全球晶元製造業務中淘汰這些化學物質。

派斯泰茨感覺自己得到了平反。除此之外，與其他人一樣，他認為整個事件是公共衛生史上最偉大的成就之一。儘管半導體產業仍對此表示懷疑，但三份科學研究改變了一代又一代女性的命運。「這幾乎就是公共衛生史上的神話，」派斯泰茨說。

但20年之後，故事的結尾卻看上去像是一個不同版本的故事。隨著半導體製造流向勞動力成本更低的國家，該行業承諾的修補程序似乎並沒有進行同樣的旅程，至少不是完全如此。彭博商業周刊獲得的機密數據顯示，至2015年仍有數以千計的婦女和她們未出生的孩子，可能需要面對同樣有毒的物質。直至今天，她們中的一些人可能仍面對著這些有毒物質。其它證據表明，同樣的生殖健康影響也持續了幾十年。

因為保密的緣故，風險可能會進一步惡化，而且半導體產業可能仍在使用尚未被發現的其它有毒物質。這是幾代女性為製造處於全球經濟核心地位的設備所付出的代價。

2010年，韓國醫生KimMyoung-hee離開她在一所藥品學校的助理教授崗位，前往首都首爾負責領導一個小型研究機構。KimMyoung-hee也是一位流行病學專家，對她而言，這同樣也是一個機會，讓她能夠有更多的時間從事公共健康研究。5年前，當她還在哈佛大學擔任博士後研究員時，她就已經涉足該領域的研究。

在她履新之後，韓國微電子產業的一系列癌症病例引起了她的興趣，這其中就包括一起已引發公眾關注的特殊事件：兩位在三星電子同一工作站肩並肩工作的年輕女性，使用相同的化學藥品來治療相同的白血病。在韓國人當中，患白血病的幾率只有十萬分之三，但這兩位年輕人卻在確診後8個月病逝。很明顯，她們的疾病與接觸致癌物質有關。激進分子隨後又披露了更多三星電子和其它微電子公司的員工患癌症病例。但是產業高管卻否認它們之間有任何聯繫。

KimMyoung-hee隨後開始對全球半導體工人的職業健康研究進行彙編和分析。雖然半導體產業對韓國經濟非常重要，但像KimMyoung-hee這樣的研究工作卻引不起任何人的關注。到2010年年底，KimMyoung-hee已經發現了40位患有白血病的病例，他們均表示在工作中接觸過有毒物質。「我不知道這是化學產業，還是電子產業，」KimMyoung-hee說。

物理學推動了微晶元的設計，但它們的製造卻主要同化學相關。從本質上講，晶元製造就是把化學物質和光通過照相電路印製在硅晶片上。英特爾創始人、現代晶元製造的標誌性人物戈登-摩爾(GordonMoore)就是一位化學家。他曾與物理學家傑-拉斯特（JayLast）在印製程序上有著緊密的合作。「我們確實在工作製造中使用到大量令人討厭的化學製劑，」拉斯特在接受採訪時曾表示。「當時人們對這些事情一無所知，我們把東西倒進了城市下水道系統。」

摩爾本人多年後曾回憶說，當工人們挖出英特爾下面的管道時，他們發現「底部幾乎已經完全空了。到那個時候，我們才真正意識到要認真對待此事。」最終，當局可能會在矽谷中心地帶聖克拉拉設置比其它地方更多的有毒廢物堆場。

正如KimMyoung-hee在科學調研中掌握的那樣，晶元印製過程中使用到一款名為「光致抗蝕劑」的重要化學雞尾酒。它是一種光敏化合物，讓電路板能夠成像印製到晶元上。摩爾和拉斯特過去在接受採訪時曾暗示，在上世紀60年代，他們使用的化學用品的危害性並不為人所知。但是早在上世紀30年代，學術界就已開始對「光致抗蝕劑」危害性進行研究。有毒成分被稱為乙二醇醚（EGEs），作為剝離混合物的重要組成部分，它主要在晶元印製過程中用於清洗晶元。

無論是在KimMyoung-hee的調查中，還是早年派斯泰茨在DigitalEquipment進行研究，亦是約翰霍普金斯大學的科學家與IBM進行的研究，都提到了相同的化學物質。IBM的研究發現，在帶有乙二醇醚環境中工作的婦女，流產率是普通女性的三倍。獨立的研究結果顯示，就如同水能滲透濾網一樣，乙二醇醚能夠輕鬆的滲透橡膠手套，皮膚吸收是最危險的路勁，導致其超出安全水平的500倍至800倍。這些危險是如此明顯，以至於美國職業安全與健康管理局在1993正式提出了暴露的定量標準。

所以那一刻起，從理論上講，企業必須禁止使用乙二醇醚。

不過KimMyoung-hee的研究讓她把此類研究向前推進了一步。此前的生殖健康研究把微電子生產與

男性工人的致命先天性缺陷、女性員工的兒童期癌症、不育和月經周期延長聯繫在一起。KimMyoung-hee幾乎閱讀了自上世紀90年代以來的所有學術研究後發現，所有的研究都提到了相同的問題：全球半導體產業在上世紀90年代中期已經淘汰乙二醇醚，這也標誌著生殖健康顧慮的終結。這些聲明似乎是合情合理的。不僅是IBM和其它公司公開宣布將終止使用乙二醇醚，而且依據國際標準將此類化學品列為1類生殖毒素。歐洲監管者也把乙二醇醚列為科學上已知的劇毒化學品，把它們列為高度關注的物質。

但仍有一些問題讓KimMyoung-hee惴惴不安。在韓國晶元工廠工作的年輕女性向KimMyoung-hee的同事們表示，她們的經期經常被退後幾個月，甚至是一年的時間，這種情況完全不正常。一些人把她們生殖系統出現的這種潛在不祥變化當做是福音，而不是警告，因為沒有經期會輕鬆許多。與美國當年的情況類似，韓國微電子產業的就業崗位主要被女性佔據。在目前就業的超過12萬女性員工中，絕大多數處於育齡年齡。這些員工通常剛從高中畢業。鑒於此，KimMyoung-hee和同事決定需要進行新的生殖健康調查。不過他們也遇到了派斯泰茨和其他美國研究人員不曾遇到的挑戰：缺少產業合作。

2013年，他們說服一名國會議員向他們開放國家健康保險數據。他們通過病人報銷記錄獲得了2012年之前5年在韓國三大微電子公司--三星、SK海力士和LG--工作的育齡女性員工的醫療記錄。在他們的研究中，來自三星和SK海力士的女性員工佔到了絕大多數，因為這兩家公司長期以來一直是全球最大的晶元製造商之一。這些數據每年包括了約3.8萬女性員工的就診記錄。在這些數據中，研究人員主要查找對不孕不育尋醫問症的記錄。

就如同在近30年前派斯泰茨發現的數據一樣，調查結果同樣令KimMyoung-hee感到觸目驚心。她發現在三星、SK海力士等公司晶元工廠工作的女性員工的流產率，竟然與當年美國晶元工廠女性員工的流產率相當。KimMyoung-hee的數據還相對是保守的，因為許多女性不會因為不孕不育前往醫院就診，而且在研究中織造工人無法與辦公室員工分開。「這並不是我所期望的結果，」KimMyoung-hee說。

KimMyoung-hee和同事在發布的研究報告中重申：乙二醇醚早已被晶元製造業淘汰。不過他們在結論中為自己設置了保護，稱他們也無法確信。他們還注意到了工廠中的其它一系列生殖毒素和環境危害，包括電離輻射等。這份研究報告的最後指出，「考慮到我們的數據來源於韓國最大的三家公司，可以合理的推測在韓國中小企業以及發展中國家從事同等工作的女性會被暴露在類似的危險之中。」

上世紀90年代在美國出現抗議之後，化學公司已表示，它們會調整向全球晶元製造商提供的光致抗蝕劑和其它化學產品的配方。不過《彭博商業周刊》獲取的測試數據顯示，化學公司並未立即對此進行調整，有些情況下沒有完全進行調整。

2009年的一天，韓國科學家對一家三星工廠和一家SK海力士工廠使用的光致抗蝕劑進行了總計10次隨機抽查。因為當時他們關注的是白血病，因此被用於測試的光致抗蝕劑毒素只與白血病相關。其中的一種毒素是苯，它被認為是讓三星員工患有罕見白血病的主要化學製劑；另一個則是乙二醇醚中最有毒性的乙二醇甲醚（2-Methoxyethanol）。當時的測試結果顯示，在10個抽樣品當中，有6個含有乙二醇甲醚。在含量最高的兩個樣品當中，一個來自三星，一個來自SK海力士。

韓國科學家當時並未記錄製造和銷售這些測試產品的化學公司名稱，但是他們記錄下來了產品編號。當這些產品編號與專利數據進行匹配，就會發現這兩個乙二醇甲醚含量最高的光致抗蝕劑樣品，均來自於同一家工廠，總部位於日本東京的信越化學（theShin-EtsuChemicalCo.）。

信越化學在當年的年報中表示，該公司是「全球領先的光致抗蝕劑製造商」，佔據全球市場約三分之一的市場份額。這也就意味著信越化學生產的含有乙二醇甲醚會遍及亞洲的半導體製造工廠。根據信越化學向東京證券交易所提供的文件顯示，總部設立在台北的崇越科技股份有限公司，目前是信越化學在中國大陸和中國台灣的獨家產品經銷商，光致抗蝕劑是其最大的收入來源，一位負責崇越科技光致抗蝕劑銷售的高管證實，信越化學兩種含有最高濃度乙二醇甲醚的特定產品一直被銷往中國大陸和中國台灣多年時間。

信越化學發言人TetsuyaKoishikawa最初曾拒絕探討產品中帶有的化學成分，或者是產品與客戶工廠員工生殖健康有關的問題。該發言人隨後又在電子郵件聲明中表示，信越化學在光致抗蝕劑中從未使用乙二醇甲醚。

2015年，韓國科學家又進一步進行了調查，對7家半導體製造商隨機抽取了樣本。這一次，來自三星和SK海力士的樣本的乙二醇甲醚均呈陰性，但從一家較小的公司抽取的樣本呈陽性。

SK海力士對此報道未予置評。三星則表示，該公司到2011年時已在晶元製造中完全取消了乙二醇醚的使用。三星發言人本-蘇（BenSuh）表示，在上世紀90年代中期之後，隨著供應商開始更改化學混合物成分，這家公司相信已在更早的時間終止使用乙二醇醚。該發言人還稱，三星也知道2009年的測試結果表明工廠中仍存在乙二醇甲醚，但這個測試並未得到三星的內部證實。

該公司還表示，「三星電子對懷孕和生育權利實行嚴格的工作場所政策，公司對懷孕的女性提供了特別護理政策。懷孕女員工在公司被禁使用化學物品，不可輪班或加班。」

令人煩惱的是，乙二醇甲醚2015年出現在了一家規模較小的晶元製造商。近年來，隨著許多大型半導體製造商在晶元製造中採用自動化提高產量和收入。雖然沒有消除，但這已減少了這些工廠員工身體接觸此類化學物質的可能性。但在那些設備陳舊、非自動化的工廠，此類問題並沒有被完全杜絕。這些位於亞洲工廠的數以千計的女性員工仍被暴露在乙二醇醚的面前。

這種風險可能會持續到海外，早在20多年前約翰霍普金斯與IBM的研究人員就已指出了這一點。他們知道乙二醇醚便宜、有效、充裕、危險性較小，該產品的替代品更昂貴。他們在當年發布的報告中指出，更高的安全成本可能意味著乙二醇醚給人體帶來的危害將會延續到海外。

當年約翰霍普金斯大學團隊負責人科瑞亞稱，在1995年IBM高管收到的報告中，就帶有這些警告。當年，IBM已終止在晶元工廠使用含有乙二醇醚的化學產品。也正是在當年，IBM高管與兩家存儲晶元供應商就供貨問題進行了商討，這兩家公司正是三星和SK海力士。

雖然IBM當時對這些交易保持沉默，但三星和SK海力士的高管卻在韓語媒體上披露了此事。IBM當時是三星和SK海力士兩家韓國晶元製造商的大客戶之一，這兩家公司與多家美國科技公司簽訂了價值約1650億美元供貨協議。「因為合同中的保密條款，這筆交易的具體規模和公司的名字不能透露，」當年負責SK海力士美國銷售業務的KimYoung-hwan在1996年3月1日版的「KyunghyangShinmun」報紙中表示。KimYoung-hwan當時還表示，SK海力士將成為「IBM的最大半導體供應商，在未來5年內將向IBM提供20%的產品需求。」三星與IBM簽訂的供貨協議同樣為5年。

在IBM開始購買韓國的存儲晶元之後，這家公司開始終止旗下晶元製造工廠的生產，這其中就包括約翰霍普金斯的研究人員曾經調查過的一家工廠。美國半導體產業協會的其它成員公司也效仿IBM，與韓國供應商簽訂了類似的協議，這其中就包括了摩托羅拉、德州儀器和惠普。英特爾從1996年開始從三星購買內存晶元，並把它植入到了當年統治全球處理器市場的奔騰晶元組當中。如果韓國繼續使用含有乙二醇醚的產品，這事實上就是把美國工人的危險轉嫁給了海外女性。

三星發言人以客戶機密為由，拒絕評論IBM或其它美國公司，是否在美國流產報告之後，在與三星簽訂協議時要求保護製造晶元的韓國女性的健康和安全。截至目前，IBM方面對此報道未予置評。

三星和SK海力士聯合統治了全球存儲晶元製造20年時間。2015年，上述兩家公司佔據了全球存儲晶元市場74%以上的份額。它們的晶元目前無處不在，iPhone、Android手機、筆記本電腦、電視機和視頻遊戲機中均由它們產品的身影。可以合理的假設，工業化世界的近乎每一位消費者都購買了含有三星和SK海力士存儲晶元的產品。

對健康的影響可能會向海外遷移並持續存在，但美國的出生缺陷訴訟中一直在悄無聲息地上演。這些訴訟中的一些目前仍在審理中。根據法庭記錄顯示，從1997年開始，包括IBM在內的超過20多家科技公司和化學公司被指控在全美至少66個不同的民事訴訟中。在這些訴訟中，有些與癌症相關，但原告中包括至少136名患有先天缺陷的兒童。

這些訴訟的主導力量是紐約州一名名叫史蒂芬·菲利普斯（StevenPhillips）的律師。目前，菲利普斯代理的出生缺陷案件都在審理中，且許多都以秘密條件解決，這其中就包括了對IBM的質控。根據特拉華州地方法院的庭審記錄，該法院在2015年7月曾了結了一宗與晶元製造商ONSemiconductor相關的出生缺陷案。原告與被告最終達成和解，ONSemiconductor則否認存有責任。截至目前，菲利普斯本人對此報道未予置評。

菲利普斯的曼哈頓律師事務所在官網中聲稱，該律師事務所代表數十位身患癌症、兒童出生缺陷的客戶，與《財富》500強中的製造商和化學供應商打官司，累計為客戶贏得了9位數的保密協議。這家公司的官網並沒有提到半導體製造商。

流行病學家KimMyoung-hee表示，因為這些案件都在私下和解，導致外界長期以來幾乎沒有討論過晶元製造過程中的風險問題。「這不會被發表在學術期刊當中，只是一些企業和受害者在私下裡達成了和解。」

即便是到了今天，晶元製造商有時也不知道它們會把什麼東西帶給製造工廠和員工。這也是為何SK海力士在2015年聘請了一隻大學科學家組成的團隊，對兩家工廠的有毒風險進行評估的原因。

他們調查結果的一部分已在韓國公佈於眾，但是許多發現仍然屬於機密。《彭博商業周刊》獲取的一份研究報告顯示，韓國晶元工廠使用了大約430種不同的化學產品。這其中包括超過130種被認為是相當危險，接觸到它們的員工必須經過專門健康檢查的化學產品。這些化學物質被稱為CMR劑，也就是誘變劑、致癌物質、生殖毒素的簡寫。除苯和乙二醇醚之外，它們還包括砷、氫氟酸和三氯乙烯。

製造和銷售這些化學製劑的企業沒有向晶元製造商披露它們的配方。SK海力士委託科學家完成的調研顯示，在157個獨特的化學成分當中，化學工廠會以「商業機密」為由，不會向它提供至少2種以上的化學物質，總數達到了363種。即便是晶元工廠擁有著自己的健康與安全經理，他們也不知道化學物質的成分是什麼，特別是光致抗蝕劑的成分。這也讓晶元製造商很難監控員工是否受到化學物品的侵襲。隨著晶元技術逐步改進，配方也會定期的發生變化。

科學家表示，因為光致抗蝕劑中存有生殖毒素和致癌物質，半導體製造商需要自己定期做隨機試驗，以防員工被化學製劑侵襲。他們還得出結論，需要迫切建立一個自上而下的全面化學監測系統，SK海力士表示自身已做到位。韓國在2015通過的《商業秘密法》修訂版，將迫使化工企業披露更多信息，但尚未得到充分執行。

根據美國市場調研公司Frost&Sullivan在2016年2月發布的報告，全球向晶元製造商銷售化學製劑的產值每年達到200億美元。根據美國顧問公司SRIConsulting提供的數據，2010年至2011年全球有10個國家的至少24家化工企業製造純乙二醇醚。這其中就包括了美國企業陶氏化學、MonumentChemical，以及德國的BASF、瑞士的Clariant，以及中石化子公司中國石化天津石油公司（SinopecTianjin）。

這些還只是主流企業。如果前往阿里巴巴網站，就會發現有5家公司在專門銷售在電子產業中使用的乙二醇醚。一家經銷商稱，「優價銷售電子級2-乙氧基乙」。另一家則表示，「高質量！來自中國的最優價格。工廠熱銷，快速發貨！」

在韓國，接觸有毒物質對半導體工人健康影響的運動在過去十年中慢慢積累了政治、社會和文化的引力。在這段時間中的絕大多數時間裡，三星經常與死去或生病的工人家屬展開激烈而公開的戰鬥。這家公司付費聘請了韓國頂級律師，與工人的索賠主張進行爭鬥--三星的這種做法顯得非常高調，因為索賠來自於政府保險金，而非是由這家公司來支付。為了讓受害員工家屬撤銷訴訟或是保持沉默，三星高管還經常秘密向受害員工提供補償金。到了2014年，因為引發了國際社會的廣泛關注，以及反映這場鬥爭的電影「AnotherPromise」的上映，形勢發生了變化。韓國政府完全拒絕了賠償要求，法院在少數案件中也開始支持工人。最後，三星對其對待員工家屬的方式公開進行了道歉。

儘管三星和SK海力士仍在否認有著任何因果聯繫，但是從去年開始，上述兩家公司已秘密對現有或過去患病或病逝的員工家屬進行補償。三星發言人表示，該公司還引入了一個外部委員會來建議健康和安全的變化。該發言人稱，公司在這些問題上的總體立場在短短几年內發生了重大變化：「我們一直在努力幫助那些曾經經歷過艱難和心痛的前半導體員工和他們的家人。」

即便如此，三星和SK海力士在支付生殖健康影響方面做法並不一致。他們只為那些還在公司工作的女性支付不孕或流產費用。（兩個公司的現任和前任僱員都有資格獲得報酬，如果他們的孩子出生缺陷或患有兒童癌症和類似疾病。）SK海力士在2016年曾表示，流產占所有批准病例的最大份額，大約40%。

KimMyoung-hee表示，很難預測韓國究竟有多少女性曾接觸過乙二醇醚，多少人有面臨著生殖健康危險。微電子工廠的員工更換率很高，甚至對韓國半導體產業的12萬就業女性中也不包括大量的臨時工和分包商。SK海力士的科學家們發現，許多生產工人執行多個任務，增加了弄清誰接觸過有毒化學物質的挑戰。女性對中國台灣、新加坡和馬來西亞的半導體產業也至關重要，這些國家都嚴重依賴外國移徙工人。

在對DigitalEquipment調查30年之後，派斯泰茨又取得了一系列的學術成就。如今，他已是南加州大學的校長。但是回憶當年「超級碗周末」的審訊和面對來自全球頂級科技公司的壓力，仍讓他有時會感到焦慮。這個爭議持續了多年時間。「對我而言這是前所未有的，我未曾預料到會有這樣的結果。坦率地說，有時我很難應付它。」

今天是《半導體行業觀察》為您分享的第1310期內容，歡迎關注。

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