氮氣事故未造成任何機器設備損毀,美光重申:生產正常
美光桃園廠的前身是華亞科廠區,美光重申,桃園廠7月1日發生些微廠務情況,但已恢復生產。前述事件對於美光業務以及該公司對客戶的承諾,並沒有受到任何實質影響,也沒有造成環境或員工安全相關問題。
美光也指出,將會持續監控相關情況,並對客戶及供貨商回報。這次輕微的廠務狀況,並沒有造成任何機器設備毀損。如同該公司上周所響應,桃園廠發生一些廠務狀況,但所有機器設備都已正常運轉,廠區也已迅速恢復運作。
《科技新報》曾報道指出,台灣美光日前所發生的污染事件,是因為供應氮化的純化設備毀壞,導致含有水氣的氮氣輸送到廠區機台,造成上百台機台遭氮氣污染。經過檢查後,產線約有6萬片DRAM晶圓在制品受污染。其中,1到2萬片左右的晶圓因損害嚴重無法救回,必須報請相關單位確認後直接報廢。剩下的4萬片晶圓再依後續檢查情況,以次級品的方式或報廢處理。
受污染的廠區產線處理部分,首先須處理的是氮氣廠的純化器修復工程。據了解,氮氣廠的純化器必須更換。不論要更換國外原廠的設備,還是國內廠商生產的備品,都需要一段時間的準備與施工。根據消息人士轉述,恐怕得花費3個月時間才有機會復工。至於,受污染的機台恢復部分,則能較快完成工作。
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