沒有這個設備，中國明年在半導體上又會落後？

中國半導體產業恐因這原因，在 7 奈米之後節點上被拉遠距離

隨著三星 10 奈米製程藉高通驍龍 835 處理器的亮相，以及由台積電 10 奈米製程所生產的聯發科 Helio X30 處理器，在魅族 Pro 7 系列手機首發，之後還有海思的麒麟 970 及蘋果 A11 處理器的加持下，手機處理器的 10 奈米製程時代可說是正式展開。而對於下一代的 7 奈米製程，當前來看，應該仍是三星與台積電兩大龍頭的天下。由於在 7 奈米製程中，極其依賴的極紫外光（ EUV） 設備，中國廠商在短期間內仍無法購買到。這對於正積極建構自身半導體生產能量的中國來說，將可能在 7 奈米這個製程節點上被拉遠距離。

事實上，對於 7 奈米製程，三星和台積電兩大晶圓代工龍頭都早已入手佈局，以便爭奪 IC 設計業者們的訂單。其中，日前傳出三星原定在 2018 年破土動工的南韓華城 18 號生產線，動工時間已經被提前到了 2017 年的 11 月，以便在 2019 年能夠進入 7 奈米製程的量產階段。其中，18 號生產線將會架設 10 多台極紫外光（EUV）設備，以強化生產效能。

至於，台積電在 7 奈米製程的佈局，根據台積電高層之前在法說會上的說法，表示目前已經有 12 個產品設計定案，這使得第一代 7 奈米製程將會在 2017 年底或 2018 年達成量產。至於，第二代的 7 奈米製程則會在 2019 年達成量產的目標，製程中也將導入EUV的技術。因此，在不論是三星，或者台積電都將在 7 奈米製程上都將引入 EUV 技術的情況下，而這種被視為延續摩爾定律的設備，正是被寄望能推動未來製程進步的重要關鍵。

因此，就 7 奈米製程這個節點的狀況來看，在一定程度上也是被 EUV 設備所控制，而 EUV設備卻是被荷蘭半導體設備廠商艾司摩爾 (ASML) 所控制的。ASML 是一家從事半導體設備設計、製造及銷售的企業，自 1984 年從飛利浦獨立出來之後，在 2016 年先後宣佈收購漢微科及蔡司半導體 24.9% 股份。而這家壟斷了高端光刻機市場的廠商，其股東中就包含英特爾 (intel)、台積電和三星。根據 ASML 公佈的 2017 第 2 季財報，公司單季的營收淨額為 21 億歐元，毛利率為 45%。

由於，EUV 的研發難度非常大。因此，也造成單價的居高不下，每一台的價格約在高昂 1 億歐元上下。而且，這種價值連城的設備還不是有錢就能買到的。例如受限於 《瓦聖納協定 (The Wassenaar Arrangement on Export Controls for Conventional Arms and Dual-Use Good and Technologies)》，中國的廠商就買不到這種最高階的光刻機設備。此外，由於 ASML 的 EUV 年產量也只有 12 台，包括三星及台積電幾乎已經搶光了 2017 到 2018 年所有產能的情況下，即便有報導稱 ASML 正在提升生產效率，希望在 2018 年將產能增加到 24 台， 2019 年達到 40 台，但仍不足以應付市場的需求。使得中國廠商即使有機會購買 EUV 設備，短期恐怕也都要落空。

當前，對於大力投入積體電路發展的中國來說，雖然買不到 ASML 的 EUV 設備，但是也尋找其他方式希望能有所突破。例如 2017 年 3 月，上海微電子裝備（集團）就與 ASML 簽署了合作備忘錄。6 月時，上海積體電路研究開發中心又宣佈與 ASML 合作，將共同建立一個培訓中心。另外，由中國本地的長春光機所帶領的極紫外光刻關鍵技術研究專案，也在 2017 年 6 月啟動。而這些計畫，都是中國希望能在 EUV 設備銷售限制上能有所突破準備。但是，實際上在未來是不是真的能有所進展，達成最後的目標，就還有待日後的持續觀察。

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