Canon Tokki大揭秘！除了OLED蒸鍍設備他們還有這些

能的半導體設備，包括家喻戶曉的OLED蒸鍍設備外，還有半導體濺射、光刻機等等核心設備。其中，Canon Tokki幾乎壟斷了OLED蒸鍍設備，其光刻機的市佔率約為5%左右，濺射設備市佔率很小。

一. Canon Tokki有機EL Display製造設備 - OLED蒸鍍設備

1. 公司介紹

佳能特機株式會社成立於1967年，主要經營真空技術應用設備的開發、設計、製造和銷售。其在中國大陸、中國台灣和韓國均設有銷售支援和售後服務。

2. 有機EL製造設備

OLED工藝流程分兩種：

1）玻璃；

2）柔性，柔性多了Varnish形成步驟。

首先，在基板上形成Varnish和TFT薄膜，然後形成有機和金屬層薄膜，最後進行封裝。封裝之後進行Varnish層的剝離。從前處理到金屬膜形成是佳能特機蒸鍍工藝部分，除蒸鍍外還包括印刷部分，但還未實現量產。

Cluster型有機EL量產設備：

主要應用於生產手機的面板；

設備中間有機械手，周圍有各種處理室，機械手搬運機板到處理室，按照指定的順序進行蒸鍍；

對應基板尺寸：G2~G6H;

生產節拍：

Inline型有機EL量產設備:

主要應用於生產電視面板；

特點：移動性成膜；

對應基板尺寸：G2~G8H;

生產節拍：

3. 設備的Line up

4. 核心技術

最大的優勢為RGB Mask對位，其在真空狀態下進行對位。

二. 高品質大型面板曝光設備 - FPD設備

1. Display發展趨勢：

1）以智能機為代表的高精化；

2）TV面板的大型化。

2. 為了應對智能機和TV面板的快速發展，佳能推出了強有力的解決方案 - FPD用MPA系列的曝光機。

MPA搭載了獨立的鏡面系統，可兼顧解像力、Overlay和生產性三大指標。

3. 性能特性。

1）在G8之前的設備（H803）最多只能曝光55「的面板，在進行65」曝光時不得不應用拼接式曝光。由於現在曝光面積拓展，所以還能兼顧2.0um的解像力。目前，只有佳能一家能做！！

2）Overlay精度提高。

之前設備只能進行線性補正，現在搭載了新倍率補正機構後，可應對各式各樣的非線性補正。精度提高10%。

3）大型Panel MMG對應。

採用MPA Dual Line構成，在兩台機器上分別曝光三個65「和兩個55」面板，減少換MASK時間來提高產能。

三. Canon半導體曝光設備 - 半導體設備

1. 半導體設備的銷售市場在快速增長，其中以AI、自動駕駛系統和5G通訊為發展基礎。

2. 佳能的半導體設備主要分為三大類：i-Line, KrF和NIL。其中，i-Line 系列覆蓋最廣。

四. Canon Anelva濺鍍設備&真空部件 - 半導體設備

佳能安內化以真空技術為基礎開發的半導體設備廣泛應用於半導體的前道鍍膜和後道封裝工藝等。

1. 設備

1）FC7100

採用特殊斜角建設，解決了平板建設技術不能解決的超薄膜工藝及對基板表面的損傷課題。

可同時搭載兩種不同材料的靶材。

廣泛應用於CMOS、ReRAM和Metal Gate的工藝中.

2) IC1060

I1060是200mm時代的主要機型，為應對半導體時代對200mm一下的需求，再次推出IC1060設備。該設備可應對多種產品的前道鍍膜和後道封裝工藝。

3）EL35系列

此系列是佳能安內化首次向中國客戶推出的液晶面板生產中所需的MASK和MASK Blanks的設備。此系列可為中國面板廠商提供關鍵的建設技術，可對應最大的10.5面板。

4）NC7900,NC8000

MRAM以磁場的方向來記憶信息，維持記憶不需要持續的電力支持，因此MRAM是解決手機等攜帶型設備所必須的新型Memory。所以，佳能安內化率先開發和推出了MRAM中MTJ構造的成膜和刻蝕設備。

以下是MTJ的一般構造，特點是由多種材料的超薄膜組成。各種材料薄厚的稍微變化會影響成品的最終性能。各生產廠家仍在摸索最佳生產工藝。佳能安內化已有20多年開發經營，其開發的NC7900擁有對各種材料所必須的納米級薄厚控制技術。NC8000採用RIE和IBE方式，可避免刻蝕工藝對側壁的損傷。

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