中國對設備廠商的影響力上升,半導體供應鏈越趨完整
EUV終於進入量產階段,部分尖端晶元製造商計劃在2018年或最遲2019年初採用。ASML總裁兼執行長Peter Wennink在2017年表示,「EUV進入大量晶元製造的準備工作將進一步加快」。
ASML 2017年營收達到13.4億美元,並在第四季額外接單10台EUV系統,目前ASML手中累積未出貨的EUV設備訂單高達28台。
ASML指出,隨著該公司持續支持中國不斷擴展的半導體產業,2016年半導體製造設備對中國的銷售額增加了20%以上,除了出貨在中國營運的外資晶圓廠,ASML還計劃於2018年向5家中國本土客戶供貨。
EUV營收佔比創新高,ArF-immersion仍是黃光設備市場規模最大宗產品
晶圓製造導入EUV的消息延宕多時,由於先進位程僅採用浸潤式曝光機(ArF-immersion)進行黃光製程難以繼續為廠商帶來成本效益,半導體廠商不得不致力於將EUV的導入成為現實,也因此EUV對ASML的營收佔比上升是可預期的結果,先進位程導入EUV。
雖然減少前段晶體管製程key-layer的光罩數目,將大幅減少ArF-immersion在Key-layer的使用,但晶體管微縮使得金屬導線線寬也進一步微縮,基於成本考量廠商仍會採用ArF-immersion進行部分金屬導線製程,加上存儲器廠商的產能持續擴增,ArF-immersion仍是受廠商仰賴的黃光設備。
中國對設備廠商的影響力上升
ASML於中國當地的營收及積壓待配訂貨統計 source:拓墣產業研究院
如圖所示,ASML出貨於中國當地的黃光設備營收貢獻逐年提升,2017年已達7.2億美元,佔ASML總營收11.3%,雖然相對台灣、韓國及美國佔比仍小,但已是5年前的2.1倍,成長不可謂不大,加上中國當地的積壓待配訂貨(Backlog)也創下新高達到8億美元。
顯然可見中國對半導體製造業的投資力道未見停歇,對ASML而言,中國的影響力越來越大,同樣的中國對其他半導體設備業及相關材料廠商也是如此,未來可預見中國的半導體供應鏈越趨完整。
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