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中國頂級技術被日本荷蘭「卡脖子」 工程師在德國竟遭遇屈辱一幕

近年來,中國科技正在以猛虎之勢發展,並逐漸縮小與發達國家的差距,我們充滿信心的同時也要保持一個清新的頭腦,在某些領域我們和世界先進水平差距依然很大,急需集中力量努力攻克。首當其衝的便是高新技術領域光刻機,光刻機的主要用途十分廣泛,有用於生產晶元的光刻機,也有LED製造領域的投影光刻機。

「十二五」科技成就展覽上,上海微電子裝備公司(SMEE)展出了中國生產的最好光刻機,它的加工精度達到了9納米,但即使這樣,依然與國外差距過大,國外已經做到了十幾納米。目前,世界上最好的光刻機基本被荷蘭和日本壟斷。

光刻機的難做,是全世界公認的事實,除去主要的核心技術,做光刻機用的底片需要經過精心的打磨,做鏡頭用的鏡片需要高純度透光材料加高質量拋光,組成鏡頭用的每一片鏡片材質都要均勻,需幾十年到上百年的技術沉澱。即使硬體達標,沒極致的機械精度也是白搭。

因為光刻機里有兩個同步運行的工作台,兩者之間的誤差不能超過2納米,我國工程師對兩者的關係做過一個形象的比喻,這兩個工作台的關係類似於兩架大飛機,始終齊頭並進,一架飛機伸出一把刀,在另一架飛機的米粒上刻字,還不能刻壞了。可以說,難度相當之高。

我國為了填補在這一方面的空白,付出了很多努力,不僅專門成立了SMEE,同時也派高級工程師賀榮明去德國考察學習,賀榮明到德國之後才真正明白了,一個頂級的光刻機,一根光纖,一行軟體編碼,一個小動作沒有做好,整個系統就不算優秀。

當時,德國有位工程師和賀榮明說,即使給你們圖紙,也做不出來,這句並不是大話,他深有體會。我國光刻機技術和國外的差距,要求我們必須培養更多高素質的人才,只要我們一代一代不斷的努力,將來一定可以打破荷蘭和日本的壟斷,超過他們,這一天不會久遠。

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