上海最大集成電路項目進入新階段，2022年底計劃月產能達4萬片晶元

昨天，在浦東新區康橋工業園南區，由華虹集團旗下上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目（以下簡稱「華虹六廠」）實現首台工藝設備——光刻機搬入，標誌著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。

在上海就能生產28納米晶元

作為上海市最大的集成電路產業投資項目，華力12英寸先進生產線總投資387億元人民幣，計劃於2022年底建成月產能4萬片的12英寸集成電路晶元生產線。

集成電路技術進步，一般用晶元集成度和微細加工精度兩個指標來衡量。晶元集成度，指單一晶元中所含有的晶體管數量。晶圓尺寸從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已發展到目前的12英寸，並且18英寸也開始處於研發階段。從目前全球晶圓廠產能情況來看，12英寸生產線主要生產高性能產品，工藝技術更加先進，是目前的主流建設方向。行業知名諮詢機構IC Insights（集成電路觀察）分析認為，截至2016年底，300毫米（12英寸）晶圓佔全球晶圓廠產能的63.6%，預計到2021年底將達到71.2%，其年均複合增長率為8.1%。

華力12英寸先進生產線工藝覆蓋28—14納米技術節點。目前，世界集成電路生產水平最高已達到7納米，主流生產線的技術水平為28—14納米，中國大陸集成電路企業生產工藝水平最高為28納米。華虹集團此前已擁有一條全自動的12英寸晶元生產線，目前主要採取的是55—28納米技術。相比第一條12英寸生產線，此次項目在技術工藝和產能兩方面都有所提升。

「中國大陸28納米晶元的產能非常少，未來4萬片月產能建成後，我國28納米晶元的產能將提升一倍。到時候，我們使用的高端晶元將有一部分來自國產，在上海就能生產28納米晶元，這對於我國集成電路產業發展意義深遠。」上海華力微電子有限公司總裁雷海波說，28納米晶元的應用領域非常廣泛，比如手機通信、物聯網、人工智慧領域的高端晶元。該項目主要從事邏輯晶元生產，在這一技術基礎上，可以開發出射頻、高壓、嵌入式存儲器類晶元等許多產品，重點服務國內設計企業先進晶元的製造，並滿足部分事關國家信息安全的重點晶元製造需求。

大陸最先進的浸沒式光刻機

此次搬入的首台工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

光刻機是晶元製造的核心設備之一，按照用途可以分為，用於生產晶元的光刻機、用於封裝的光刻機和用於LED製造領域的投影光刻機。在加工晶元的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後映射到矽片上，然後使用化學方法顯影，從而得到刻在矽片上的電路圖。簡單地說，就是將晶元設計的圖形從掩模版上「轉移」到塗在矽片表面的光刻膠上。

華力12英寸先進生產線建設項目首台工藝設備的搬入，標誌著將康橋工業園南區打造為上海集成電路產業發展新基地取得了階段性勝利，這對上海市落實《國家集成電路產業發展推進綱要》，同時對上海建設先進位造業的產業集群高地，打響「上海製造」品牌有著重要意義。未來五個月內，華虹六廠工藝設備將集中搬入，其中也包括一些國產設備，今年底前將完成生產線串線並實現試流片，預計月產能達到1萬片。

進入全球集成電路產業陣營前列

「有點激動，也有點感動。」華虹集團黨委書記、董事長張素心說，自2016年12月30日開工以來，廣大建設者克服連綿陰雨、持續高溫等不利因素，實施立體和錯時施工。經過約一年半的努力，每天工作12小時以上，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，比原計划進度提前1個半月。

項目建成後，華虹集團將成為擁有覆蓋從0.5微米到14納米各工藝節點的大型集成電路製造產業集團，在產業規模和工藝技術上進入全球集成電路產業陣營的前列。該項目已被列入國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》，是國家「910工程」的子項目之一，也是「十三五」期間上海市重大產業項目和上海市重大工程，並實現了當年立項當年開工。

（責編：張葦杭）

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