大動作！中興被禁後，「中國芯」迎來重大突破

5月19日，長江存儲終於盼來了自己的首台光刻機。當天中午，這台價值7200萬美元、比黃金還金貴的設備，運抵了武漢天河機場。這台來自全球最大的晶元設備製造商——荷蘭阿斯麥公司（ASML）的大傢伙的到來，被外界看做中國晶元技術的重要突破。

好消息不止一個。就在幾天前，據《日經亞洲評論》15日援引消息人士的話稱，中國晶元加工企業中芯國際（SMIC）也與同一家企業——荷蘭阿斯麥公司訂購了其首台最先進的EUV（極紫外線）光刻機，價值1.2億美元。消息稱，這台幾乎相當於中芯國際去年全部凈利潤的設備，將於2019年初交付。

5月19日，長江存儲首台光刻機運抵武漢天河機場。

光刻機為何物？

光刻機為何物？為何如此金貴？

香港《明報》5月22日報道稱，光刻機（又稱曝光機）是生產大規模集成電路的核心設備，其作用是掃描曝光晶元晶圓，刻蝕集成電路。製造和維護需要高度的光學和電子工業基礎，世界上只有少數廠家掌握。因此光刻機的價格昂貴，通常在3000萬至5億美元不等。目前，雖然尼康、佳能等對手都在勉力競爭，但是自飛利浦獨立的阿斯麥公司掌握了90%以上的高端光刻機市場份額。精度愈高的光刻機，能生產出納米尺寸愈小、功能更強大的晶元。

世界最新最先進的兩代高端光刻機領域，即浸入式（Immersion）和極紫外線式（EUV）光刻機，全部由阿斯麥掌握核心技術。報道稱，小於5納米的晶元晶圓，目前只能用EUV光刻機生產。三星電子和台積電目前正競爭生產7納米工藝技術晶元，這兩家都訂購了阿斯麥公司的EUV光刻機。目前，蘋果iPhone X和iPhone 8系列的核心處理器晶元，採用的是台積電10納米工藝技術，而今年即將推出的新款iPhone將使用7納米工藝技術。

由此可知，擁有光刻機對晶元工藝的實現有著決定性的影響。

荷蘭阿斯麥公司廠區（法新社）

不斷補足晶元量產短板

目前，在晶元技術的研發上中國已經有了飛速進展，但在製造量產上還是短板。這兩台光刻機的引進將大大提高中國在晶元製造工藝上的水平。

據悉，19日運抵的光刻機只是長江存儲的首台光刻機，陸續還會有多台運抵。報道稱，該設備在相關的海關、商檢及邊防口岸的相關手續辦理完成後，即可運至長江存儲的工廠，可用於14-20納米工藝。這也從側面透露了長江存儲3D NAND快閃記憶體晶元的工藝製程。

根據長江存儲官網的介紹，2016年，紫光集團與國家集成電路產業投資基金、湖北科投等合資成立了長江存儲，註冊資本額為人民幣386億元。當年，長江存儲啟動了位於武漢的國家存儲器基地的建設。2017年9月，項目一期的一號生產及動力廠房提前封頂，2018年4月11日，首批價值400萬美元的晶元生產機正式進場安裝。這標誌著國家存儲器基地從廠房建設階段進入量產準備階段，中國首批擁有完全自主知識產權的32層三維NAND快閃記憶體晶元將於年內量產。

4月27日，長江存儲公司內展示的國家存儲器基地建設現場。（新華社）

目前，長江存儲的32層堆疊3D NAND快閃記憶體已經開始試產，不少產業鏈企業都拿到了樣片測試，預計今年第四季度量產。另外據日本經濟新聞今年2月22日報道，蘋果正在與長江存儲進行談判，以購買其生產的NAND快閃記憶體晶元。據分析蘋果首先將僅在面向中國國內的產品中採用。多名知情人士透露了上述消息。蘋果討論採用用於保存電子設備數據的NAND型快閃記憶體。蘋果對半導體的品質要求很高，不少觀點認為實際採用要到2020年之後。

如果能夠和蘋果這樣的巨頭簽訂大單，對於長江存儲來說，將是一個巨大的好消息。對中國而言，這個交易也將有助於減少對外國晶元供應的依賴，因而願意大舉投資。另據紫光集團全球執行副總裁暨長江存儲執行董事長高啟全披露：長江存儲的3D NAND Flash已經獲得第一筆訂單，總計10776顆晶元，將用於8GB USD存儲卡產品。他在接受採訪時強調：「這僅是剛剛開始」。

而對於中國內地規模最大、技術最先進的晶元製造企業，成立於2000年的中芯國際購買光刻機的舉動也引發關注。據日經亞洲評論報道，據消息人士透露，中芯國際是在美國4月份對中興通訊制裁後下達的訂單。報道稱，儘管中芯國際在這一市場仍落後於市場領先者兩至三代技術，但是購買到目前世界最先進的EUV光刻機，彰顯了其努力追趕的決心。據了解在2017年3月，中芯國際宣布將進軍7納米工藝技術的研發。而EUV光刻機則是現今唯一能夠生產7納米以下的設備，因此，其也被稱為「突破摩爾定律的救星」。

中芯國際集成電路製造（北京）有限公司的工作人員在車間內忙碌。（新華社）

光刻機到底對中國禁不禁售？

物以稀為貴，作為世界上唯一能夠製造EUV光刻機的廠商，並且產量極低，阿斯麥全部產能早在生產之前就被預訂一空。根據《日經亞洲評論》提供的數據，今年，台積電已經向阿斯麥訂購接近10台EUV光刻機，三星約為6台，英特爾為3台。而阿斯麥在4月中旬舉行的財報會議上公開稱，今年計劃有20台EUV光刻機交付，但並沒有說明訂單詳情。

由於《瓦森納規定》的存在，阿斯麥公司接連對中國企業接單，引發一些質疑。《瓦森納協定》又稱瓦森納安排機制，全稱為《關於常規武器和兩用物品及技術出口控制的瓦森納協定》，目前共有包括美國、日本、英國、俄羅斯等42個成員。儘管「瓦森納安排」規定成員國自行決定是否發放敏感產品和技術的出口許可證，並在自願基礎上向「瓦森納安排」其他成員通報有關信息。但「安排」實際上完全受美國控制。而中國、朝鮮、伊朗、利比亞等國均在被限制國家名單之中。當「瓦森納安排」某一國家擬向中國出口某項高科技技術時，美國甚至直接出面干涉，如捷克擬向中國出口「無源雷達設備」時，美便向捷克施加壓力，迫使捷克停止這項交易。

《瓦森納協定》

此前曾有一種說法，認為最高端的光刻機技術受到《瓦森納協定》影響，被禁止向中國大陸出售。然而，阿斯麥公司發言人則對《日經亞洲評論》表示，該企業對包括中國客戶在內的全球客戶都一視同仁。而且，向中國出售EUV光刻機並沒有違反《瓦森納協定》。

事實上，從中芯國際的官網可以了解到，中芯國際早在2014年10月27日，已經與阿麥斯公司簽訂過一份光刻設備批量購買協議。這份批量購買訂單價值近4.5億歐元。阿斯麥總裁兼CEO彼得·溫尼克（Peter Wennink）在當時就表示：「中國對我們來說，是很重要的市場。通過這個協議，我們希望能在中國客戶中增加市場份額，佔穩一席之地。」

阿斯麥公司生產的光刻機（阿斯麥官網）

2017年10月，阿斯麥中國區總裁金泳璇在接受台灣《電子時報》的採訪時也表示，阿斯麥對大陸晶元廠與國際客戶一視同仁，只要客戶下單，EUV要進口到中國完全沒有任何問題。在交期方面，所有客戶也都完全一致，從下單到正式交貨，均為21個月。金泳璇當時就曾透露，目前已有大陸晶元廠巨頭與阿斯麥展開7納米工藝製程的EUV訂單洽談，2019年大陸首台EUV可望落地。而這對中國晶元廠來說無疑是一個好消息。

台灣「中央社」稱，從2019年半導體晶元將進入7納米時代開始（現在處於10納米時代），EUV光刻機可以被稱為戰略性設備，沒有它就會使晶元製造寸步難行。

晶元國產化進程提速

關於購買光刻機的消息還有更多。就在5月21日，上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸集成電路生產線項目實現首台工藝設備——光刻機搬入， 此次搬入的首台工藝設備為阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

據了解，華力12英寸先進生產線建設項目總投資387億元人民幣，被列為國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》。該項目主要從事邏輯晶元生產，重點服務國內設計企業先進晶元的製造需求，並滿足部分事關國家信息安全的重點晶元製造。根據規劃，該項目將建成月產能4萬片的12英寸集成電路晶元生產線，工藝覆蓋28-14納米技術節點。項目計劃於2022年底達到產能目標。

除了資金和技術人才的投入外，為推進《國家集成電路產業推進綱要》落地，我國將針對集成電路先進工藝和智能感測器創新能力不足等問題，出台一系列政策「組合拳」，加速多個重點關鍵產品和技術的攻關，以此促進我國集成電路產業的快速健康發展，並縮小我國集成電路產業和世界先進水平的差距。

據國家製造強國建設戰略諮詢委員會制定的產業發展目標，到2020年我國集成電路產業與國際先進水平的差距將逐步縮小，全行業銷售收入年均增速超過20%。到2030年，集成電路產業鏈主要環節達到國際先進水平，一批企業進入國際第一梯隊，產業實現跨越式發展。我國「國產替代」的研發能力和生產進度都在不斷提速中。

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