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ASML計劃2018年售出20台全新極紫外光刻機

技術的進步,很大程度上得益於半導體行業的飛速發展。過去幾十年,它們的體型變得越來越小、性能越來越強、成本愈加划算。 作為一家在業內長期領先的半導體企業,荷蘭 ASML 剛剛推出了一款獨特的新機器,可將微處理器的生產提升到一個全新的高度。該機器能夠藉助極紫外光,將設計好的電路蝕刻到微晶元上。

ASML計劃2018年售出20台全新極紫外光刻機

該機首先通過一幅藍圖來投射極紫外光,然後經過德國蔡司製造的一系列光學器件處理,將光線變小並聚焦在矽片上,後者覆有一種中光敏化學物質製成的塗層。

當 EUV 與這種化學塗層相互作用時,就可以將圖案印在矽片上。然後機器會去除多餘的硅,留下了一個三維的結構。這個過程會重複很多次,最終在一塊矽片上印製數百種精確高度的晶元。

這台機器必須在真空環境中操作,這樣空氣就不會對光線產生干擾。其參數相當嚴密,因為即使是一粒灰塵,也可能會導致晶元的報廢。

關於 ASML:這是一家 成立於 1984 年 、總部位於荷蘭費爾德霍芬(Veldhoven / 毗鄰比利時邊境)的高科技企業。通過實現更小、更精確的設計,ASML 一直致力於推動半導體行業的發展。

ASML 的客戶包括英特爾、三星、台積電等晶元製造業巨頭,後者又是蘋果的主力晶元供應商。去年的時候,ASML 售出了 首批 12 台 極紫外光刻機,預計今年可達 20 台、2020 年為 35~40 台。

值得一提的是,ASML 是僅有的三家製造光刻機的公司之一,也是率先 開發 極紫外光刻機的企業。

儘管製造的晶元很是微小,但這些機器的大小與一輛巴士相當。ASML 需要動用三架波音 747 飛機,才能將其送到客戶手中。

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