三星7nm EUV工藝今年下半年問世,3nm工藝採用全新結構
三星在NAND、DRAM兩大存儲晶元上已經是世界第一,下一步的重點是邏輯工藝,三星新設立了工藝研發中心以加強代工業務,不過吸引客戶的關鍵則是三星能否及時推出各種先進的製造工藝。2017年的三星代工論壇上,三星宣布了包括8nm、6nm及5nm、4nm工藝在內的一系列新工藝,今天三星又宣布新的工藝路線圖,三星調整了一些工藝進展,表示7nm EUV工藝將在今年下半年問世,並首次公布了3nm GAAE/GAAP工藝,明確將使用新一代晶體管結構。
三星的工藝路線圖更新如下:
·7nm LPP(7nm Low Power Plus):三星首款使用EUV光刻工藝的半導體工藝技術,預計今年下半年投入生產,關鍵IP核心正在開發中,預計2019年上半年完成。
·5nm LPE(5nm Low Power Early):通過7nm LPP工藝的創新,5nm LPE工藝將帶來更高的面積縮放以及超低功耗優勢。
·4nm LPE/LPP(Low Power Early/Low Power Plus):高度成熟的FinFET工藝將一直用到4nm節點,作為最新一代FinFET工藝,通過吸收5nm工藝的優勢,4nm 將提供更小的cell單元、更高的性能以及更快達到量產水平的良率。
·3nm GAAE/GAAP(3nm Gate-All-Around Early/Plus):4nm之後三星將推出3nm工藝,該工藝節點將使用全新的架構,為了克服FinFET工藝的物理縮放以及性能限制等問題,三星開發了獨一無二的GAA技術,通過使用納米片設備製造出了MBCFET(Multi-Bridge-Channel FET,多橋-通道場效應管)。增強柵極控制之後,3nm節點工藝的性能將會明顯提升。
此外,針對HPC高性能計算,三星還能提供從7nm LPP工藝到2.5D/3D異構封裝的100+Gbps網路等等IP核心。
與去年的工藝路線圖相比,8nm、6nm工藝沒了蹤影,不確定三星是沒提還是直接跳過了,考慮到與台積電競爭7nm工藝的重要性,三星跳過某些工藝節點也是正常的。從現在公布的結果來看,三星的7nm EUV工藝明顯加速了,今年下半年就能投產,雖然相關的IP核心要到明年初才能問世,不過台積電以及GF的7nm EUV工藝都是預定明年才量產的,至於英特爾那就更遙遠了,10nm到明年底才能量產。
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