重磅！華虹旗下上海最大集成電路項目實現光刻機搬入，光刻機第一股浮出水面？

5月21日，在上海浦東新區康橋工業園南區，由華虹集團旗下上海華力集成電路製造有限公司建設和營運的12英寸先進生產線建設項目（以下簡稱「華虹六廠」）實現首台工藝設備——光刻機搬入， 標誌著華虹六廠從基建階段進入工藝設備安裝調試階段。

華力12英寸先進生產線建設項目是上海市最大的集成電路產業投資項目，總投資387億元人民幣，將建成月產能4萬片的12英寸集成電路晶元生產線，工藝覆蓋28-14納米技術節點。項目計劃於2022年底建成達產。項目主要從事邏輯晶元生產，重點服務國內設計企業先進晶元的製造，並滿足部分事關國家信息安全的重點晶元製造需求。項目已被列入國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》，是國家「910工程」的子項目之一，也是「十三五」期間上海市重大產業項目和上海市重大工程。

據悉，自2016年12月30日開工以來，在參與華虹六廠建設的管理者有序組織協調下，廣大建設者克服連綿陰雨、持續高溫以及兩個春節長假放假等不利因素，合理安排，規範和錯時施工。經過16個半月的努力，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，較原計划進度提前1個半月。此次搬入的首台工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT 1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

集成電路技術進步，一般用晶元集成度和微細加工精度兩個指標來衡量。晶元集成度，指單一晶元中所含有的晶體管數量。晶圓尺寸從3英寸、4英寸、5英寸、6英寸、8英寸已發展到目前的12英寸，並且18英寸也開始處於研發階段。從目前全球晶圓廠產能情況來看，12英寸生產線主要生產高性能產品，工藝技術更加先進，是目前的主流建設方向。行業知名諮詢機構ICInsights（集成電路觀察）分析認為，截至2016年底，300毫米（12英寸）晶圓佔全球晶圓廠產能的63.6％，預計到2021年底將達到71.2％，其年均複合增長率為8.1％。

華力12英寸先進生產線工藝覆蓋28—14納米技術節點。目前，世界集成電路生產水平最高已達到7納米，主流生產線的技術水平為28—14納米，中國大陸集成電路企業生產工藝水平最高為28納米。華虹集團此前已擁有一條全自動的12英寸晶元生產線，目前主要採取的是55—28納米技術。相比第一條12英寸生產線，此次項目在技術工藝和產能兩方面都有所提升。

「中國大陸28納米晶元的產能非常少，未來4萬片月產能建成後，我國28納米晶元的產能將提升一倍。到時候，我們使用的高端晶元將有一部分來自國產，在上海就能生產28納米晶元，這對於我國集成電路產業發展意義深遠。」上海華力微電子有限公司總裁雷海波說，28納米晶元的應用領域非常廣泛，比如手機通信、物聯網、人工智慧領域的高端晶元。該項目主要從事邏輯晶元生產，在這一技術基礎上，可以開發出射頻、高壓、嵌入式存儲器類晶元等許多產品，重點服務國內設計企業先進晶元的製造，並滿足部分事關國家信息安全的重點晶元製造需求。

大陸最先進的浸沒式光刻機

此次搬入的首台工藝設備為荷蘭阿斯麥公司的NXT1980Di光刻機，是目前中國大陸集成電路生產線上最先進的浸沒式光刻機。

光刻機是晶元製造的核心設備之一，按照用途可以分為，用於生產晶元的光刻機、用於封裝的光刻機和用於LED製造領域的投影光刻機。在加工晶元的過程中，光刻機通過一系列的光源能量、形狀控制手段，將光束透射過畫著線路圖的掩模，經物鏡補償各種光學誤差，將線路圖成比例縮小後映射到矽片上，然後使用化學方法顯影，從而得到刻在矽片上的電路圖。簡單地說，就是將晶元設計的圖形從掩模版上「轉移」到塗在矽片表面的光刻膠上。

華力12英寸先進生產線建設項目首台工藝設備的搬入，標誌著將康橋工業園南區打造為上海集成電路產業發展新基地取得了階段性勝利，這對上海市落實《國家集成電路產業發展推進綱要》，同時對上海建設先進位造業的產業集群高地，打響「上海製造」品牌有著重要意義。未來五個月內，華虹六廠工藝設備將集中搬入，其中也包括一些國產設備，今年底前將完成生產線串線並實現試流片，預計月產能達到1萬片。

進入全球集成電路產業陣營前列

「有點激動，也有點感動。」華虹集團黨委書記、董事長張素心說，自2016年12月30日開工以來，廣大建設者克服連綿陰雨、持續高溫等不利因素，實施立體和錯時施工。經過約一年半的努力，每天工作12小時以上，目前主廠房已完成凈化裝修，相關配套機電設備準備就緒，具備了工藝設備搬入條件，比原計划進度提前1個半月。

項目建成後，華虹集團將成為擁有覆蓋從0.5微米到14納米各工藝節點的大型集成電路製造產業集團，在產業規模和工藝技術上進入全球集成電路產業陣營的前列。該項目已被列入國家《「十三五」集成電路產業重大生產力布局規劃》，是國家「910工程」的子項目之一，也是「十三五」期間上海市重大產業項目和上海市重大工程，並實現了當年立項當年開工。

上海華虹（集團）有限公司成立於1996年，是國家「909」工程的成果與載體。華虹集團在建設運營我國第一條深亞微米超大規模8英寸集成電路 生產線的同時，逐步發展成 為以晶元 製造業務為核心，集成電路系統集成和應用服務、晶元製造工藝研發、晶元設計、電子元 器件貿易、海內外風險投資等業務平台共同發展的集成電路產業集團。華虹集團旗下擁有

?上海華虹宏力半導體製造有限公司

?上海華虹計通智能系統股份有限公司

?上海集成電路研發中心

?上海虹日國際電子有限公司

?上海華虹摯芯電子科技有限公司

?上海華力微電子 有限公司

?上海華虹科技發展有限公司

?上海華虹集成電路有限責任公司

等公司.

作為華虹集團旗下唯一一家上市公司：華虹計通（300330），華虹集團目前持有華虹計通29.13%的股份.不排除華虹集團藉助華虹計通整體上市的可能

根據中國半導體行業協會估計，2017年中國前十大集成電路設計企業排名中，在製造方面，2017年中國前十大集成電路製造企業方面，分別為三星274.4億元、中芯國際 201.5 億元、SK海力士 130.6 億元、英特爾大連 121.5 億元、上海華虹集團 94.9 億元，分列前五位；其餘為華潤微電子、台積電、西安微電子、武漢新芯、蘇州和艦。

在前五大 IC 製造商當中，外商涵蓋三家，三星西安廠生產 3D NAND、海力士無錫廠生產DRAM、英特爾大連廠生產 3D NAND，全都是生產存儲晶元，而國內僅有中芯國際、上海華虹集團入圍前五大。

4月19日至21日，華虹集團參展第六屆「中國（上海）國際技術進出口交易會」，集中展示了集團在集成電路製造、技術研發與公共平台服務、射頻識別（RFID）系統集成與應用和電子元器件解決方案的創新技術成果。

本次上交會以「創新驅動發展，保護知識產權，促進技術貿易」為主題。華虹集團作為上海國資企業展團成員，攜旗下華虹宏力、上海華力、研發中心、華虹計通和虹日國際向參觀者展示集團科技創新的最新成果。開展當天，上海市人大常委會副主任肖貴玉、上海市政協副主席徐逸波等市領導分別蒞臨華虹展台參觀指導，了解華虹集團兩個新建集成電路製造項目的進展，並要求華虹集團繼續關注「中國製造2025」目標下集成電路產業面臨的機遇和挑戰，進一步滿足國民經濟各個領域對集成電路快速增長的需求，並為上海建設具有全球影響力的科技創新中心貢獻力量。

在晶元製造領域，華虹集團旗下華虹宏力重點展示了其國內先進的8英寸晶圓嵌入式非易失性存儲器技術——90納米低功耗嵌入式快閃記憶體工藝平台。該平台以高性能、高可靠性及高集成度實現了高端智能卡晶元的國產化，具有高度自有知識產權，已累計獲得國內發明專利授權70件，美國專利授權20件。作為全球領先的8英寸純晶圓功率器件製造企業，華虹宏力功率器件的技術在行業內具有優勢，功率器件產品累計出貨超過570萬片，最新研發的第三代深溝槽超級結（DT-SJ）技術，器件性能達到國際一流水平。集團旗下上海華力展示了其別具特色的28納米低功耗工藝技術，以及國內領先的55納米CMOS圖像感測器工藝技術。華力的28納米低功耗客制化工藝平台具有獨立知識產權，具備多種常用IP及記憶體類型，產品主要應用於集成藍牙/WiFi/GPS/收音等射頻模塊的多核手機應用晶元。55納米圖像感測器工藝平台採用華力自主開發的多項先進技術，例如雙淺溝槽、雙曝光光刻、超高能注入、低金屬污染控制、拼接等工藝，兼容邏輯與像素工藝，充分滿足了像素持續減小的技術需求與圖像質量持續改善的品質要求。

此外，上海集成電路研發中心作為產業公共服務平台，介紹了其FinFET器件及工藝、FDSOI關鍵工藝、5nm以下納米線晶體管等新器件和工藝技術的聯合研發能力，以及為國產光刻機、刻蝕機、銅互連、光刻膠、大矽片等裝備和材料提供全方位驗證和工藝配套服務的情況。上海華虹計通展出了載入生物特徵識別模塊的自助驗證閘機，通過人臉和指紋識別對通行者的真實身份進行確認，進而結合成熟的AFC系統實現安全記錄和消費扣款，為大客流、高安全、快速通行的應用場景提供人工智慧通行裝置，提升快速出入的有效管理。虹日國際則展示了穩定、專業的電子零部件供應鏈服務和基於技術及市場需求的產品推廣能力，在為客戶提供系統解決方案同時，協助客戶改善設計、降低成本和提高物流效率。

「公司目前繼續專註於主營業務，晶元業務還在謹慎探索階段。」4月23日，華虹計通總經理徐明在業績說明會上表示，公司近兩年在探索專用晶元方面的研發，由於項目開發周期較長，目前尚無法預測準確的量產計劃。

在華虹計通業績說明會上，公司晶元業務的發展成為投資者最關心的話題之一。根據華虹計通日前披露的2018 年度日常關聯交易預計公告，公司向華虹摯芯電子科技有限公司採購471.01萬元集成電路圓片。徐明在會上稱，向華虹摯芯採購的晶元是用於公司產品生產的原材料。

徐明進一步表示，公司近兩年來探索晶元業務，包括設計服務、測試驗證服務和相關產品的設計。目前晶元業務仍處於研發階段，尚未正式投產，對公司近期的業績沒有影響。另外，晶元業務的研發工作具有一定的不確定性，公司將及時披露相關研發項目的進展情況。

有投資者提問，公司是否會考慮併購上游晶元企業。華虹計通2017年年報提到，「公司也在積極尋找可能的併購對象，擬通過收購資產實現資源整合和業務延伸，使公司可以獲得更快的發展」。對此，華虹計通董事長項翔回復，一切以公司日常信批信息為準。

此外，不少投資者甚至催促華虹計通控股股東開展晶元業務。有投資者稱，目前我國晶元產業存在痛點，華虹計通控股股東作為我國集成電路行業的領軍企業，目前擁有華虹半導體和華虹計通兩個上市平台，希望能更好地藉助資本市場的力量，發展晶元產業。「現在是最好的時間點和最佳機遇，公司可以融資發展更多晶元業務了。」有投資者在業績說明會上建議。

根據華虹計通2017年年報數據，報告期內公司實現營業收入2.25億元，較上年同期上升68.47%，歸屬上市公司股東的凈利潤為600.2萬元，同比上升120.73%。2017年度公司的項目合同儲備不斷增加，正在執行的主要項目按實施進度逐步確認收入，本年度的主營業務收入與上年同比有較大幅度增長。同時，公司通過加強項目管理積極控制項目實施成本，使公司主營業務毛利率有所上升，主營業務利潤增加。

公開資料顯示，華虹計通是一家國有控股的基於射頻識別技術(RFID)的電子收費與支付系統解決方案供應商和設備供應商。公司專業從事非接觸式IC卡自動收費系統的設計、開發、集成、銷售和服務及相關終端產品的生產和銷售。

光刻機第一股是否浮出水面，讓我們拭目以待！

（本文所載均為個人拙見，不作為買賣依據，也請勿照此操作）

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