要超車台積電，三星宣布採用 EUV 技術 7 納米製程完成驗證

【Technews科技新報】在晶圓代工市場中，台積電與三星的競爭始終是大家所關心的戲碼。其中，三星雖然有高通這樣的 VIP 客戶，但在 7 納米製程節點上，高通預計會轉投回台積電的情況下，三星要想受到更多的客戶的青睞，只能從工藝技術上著手了。這也是三星為什麼跳過非 EUV 技術的 7 納米製程，直接上 7 納米 LPP EUV 製程技術的原因。如今，三星終於公布了他的 7 納米 LPP 製程已經完成了新斯科技（Synopsys）的物理認證，意味著 7 納米 EUV 製程將可以進行全球量產了。

事實上，目前在全球的前幾大晶圓代工廠商中，英特爾的 10 納米製程還沒搞定，因此距離 7 納米製程就更遙遠了。而台積電的 7 納米製程量產比較順利，會有蘋果、海思、高通、NVIDIA、AMD 等客戶陸續流片、量產。不過。台積電的第一代 7 納米製程，使用的還是傳統的多重曝光技術，一直必須到 2019 年得第 2 代 7 納米製程才會使用 EUV 光刻技術。

格羅方德方面也走台積電相似的路線，預計 2018 年量產的 7 納米 DUV 製程還是傳統的深紫外光刻技術。對此，號稱頻率可達 5GHz 的 AMD 7 納米 Zen 2處理器就會使用格羅方德的 7 納米製程技術，2019 年初問世，2020年 的再下一代才是 7 納米 EUV 製程技術。

相對於其他競爭對手，三星在 EUV 技術上是最積極的。也就是三星直接跳過了第一代非 EUV 光刻的 7 納米製程，直接使用加入 EUV 技術的 7 納米 LPP 製程，並且預定在 2018 年下半年正式量產。日前，新斯科技與三星已經聯合宣布，三星使用的 7 納米 LPP 製程技術完成了 IC 驗證器的認證工作了。

在三星完成這次的認證之後，三星的 7 納米 LPP 製程就可以立即提供認證的技術資料，包括 DRC 設計規則檢查、LVS 布局與原理圖、金屬填充技術檔等等給予相關客戶，而這也意味著三星的 7 納米 LPP 製程正式進入可以量產的階段。

目前在 EUV 光刻技術競爭激烈下，各家大廠搶 EUV 光刻機也成為重要經營項目之一。根據之前的消息，ASML 的 EUV 光刻機中，台積電訂購了大約 10 台，三星訂購了大約 6 台，英特爾訂購了 3 台，而格羅方德的EUV訂單數量不詳，中芯國際也訂購了 1 台 EUV 光刻機，將用於 7 納米製程技術研究上，預計 2019 年初交貨。而就在各家廠商手中都握有 EUV 光刻機的情況下，似乎未來在7納米節點上要勝出，就必須對比大家的最後的技術與管理能力了。

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多年在財經媒體的工作資歷，深入理解電子與科技產業的發展過程與趨勢，亦曾經在電子媒體製作相關財經節目，為觀眾剖析當前最即時的財經資訊與新聞。

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