如何選擇MEMS壓力感測器的校準方法？

據麥姆斯諮詢介紹，測量儀器的價值由其準確性決定。壓力感測器也算是一種測量「儀器」，在汽車、醫療保健、工業中得到廣泛應用。在這些應用中，保證壓力感測器的準確性對確保質量控制、保證病人生命安全來講至關重要。

壓阻式壓力感測器，具有快速響應、堅固耐用、量程範圍寬、溫度變化對壓力輸出影響小、準確度高等優點，成為了當下測量儀器的流行選擇。但是，只要感測器出現了均勻性問題、與溫度相關的誤差，那麼就需進行校正或補償。

壓力感測器的補償方法有兩種：主動式補償和被動式補償。被動式補償是通過在電阻的製造過程中對其進行修正完成，適用於工作在溫度變化小的環境下的壓力感測器。對於溫度變化較大的環境，通過採用板載電路或微控制器來進行主動式補償。

這時，壓力感測器周圍環境的溫度也需要通過溫度感測器進行定期測量。再安裝到板載電路上，以校正與溫度相關的誤差（也稱為偏移量誤差，英文：offset）。這樣確保了壓力感測器的溫度誤差接近於零，工作量程更寬，質量更佳。

壓力感測器的校準方法該如何選擇？

壓力感測器的校準方法有兩種：（1）客戶自己對生產線中使用的壓力感測器進行校準；（2）壓力感測器製造商進行充分的補償，將預先校準過的感測器交由客戶進行後續的集成。

客戶希望自己完成校準的緣由有很多。原因之一是客戶在最終成品中已安裝了微控制器，這種情況下，主動式校準可以通過微控制器完成。

客戶採用的感測器封裝或組裝工序可能會將大量應力施加於壓力感測器上。當這種情況發生時，已經校準的壓力感測器將因受到封裝工序的應力而產生額外的壓力顯示。增加的壓力將產生新的零點。

客戶自己做校準的缺點是在線校準很難執行，並且它可能是高度破壞性的。購買已經校準過的感測器要比在線校準所花費的專業設備和經驗成本要低一些。最致命的缺點是客戶自己做校準會浪費很多時間。因為每顆感測器都需要單獨校準，不可能進行批量校準。此外，校準所需的溫度範圍意味著設備需要很長的時間才能達到所需的溫度極限。

從如Merit Sensor之類的製造商購買完全補償的壓力感測器，價格比未做補償的感測器貴一些。但是，重要的是要權衡各方面因素，時間就是金錢，如果花費太多時間在校準上，購買已經完全補償的壓力感測器或者可以簡單地插入使用的校準元器件則不失為一種不錯的選擇！

這對於那些希望得到高產出的公司來說是理想的選擇，尤其是那些沒有設備、專業技能和流程來保證在線校準的公司。通常來講，壓力感測器製造商有專業校準人員、工具和專業知識來完成校準。

Merit Sensor提供的定製化解決方案

LP系列是Merit Sensor公司為超低壓力應用提供的壓力感測器，涉及各種量程範圍。這種類型的感測器很適合用於如持續氣道正壓通氣（CPAP）機的應用，因為該系列適合使用非腐蝕性氣體。LP系列提供了預校準的選項，這意味著壓力感測器可立即用於醫療使用。也同樣適用於工業應用，以及醫療保健應用的空氣過濾系統和肺活量測量。

Merit Sensor推出的PMD系列適用於中低壓力的應用。PMD系列適用於空氣和其他非腐蝕性液體。該系列還能夠測量差壓、絕對壓力和真空度。PMD系列是印表機中油墨液位最理想的壓力感測器選擇，可工作在0.34~3.5大氣壓力範圍內。在這項應用中，因為使用了外部微處理器，校準快速且直接。無補償的PMD系列也是非常受歡迎的產品。

TVC系列適用於如高溫燃油等嚴苛的介質環境。該系列的介質電阻高，是汽車行業的最佳選擇。器件採用徑向密封，有助於模塊級的集成，以最小限度地引入應力。

Merit Sensor推出的TVC系列

完全補償的感測器頗受汽車應用的歡迎，因為其將耗時、超出的溫度範圍的校準集成到生產過程中，汽車行業的客戶可不受這些問題的困擾。

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