清洗設備國產化加速 至純科技拿下中芯國際訂單

整個半導體產業設備市場中，80%份額為晶圓處理設備，在此環節中，清洗步驟約佔整體步驟的33%，清洗設備對生產線的良率和經濟效益均起著至關重要的的影響。

作為國產半導體清洗設備「三劍客」之一，至純科技受到了投資機構的關注，日前迎來了浙商證券、海富通基金、申萬宏源、光大證券等一眾投資機構調研，談及其半導體清洗設備領域布局。

對標國際巨頭 5年目標200台

至純科技成立於2000年，致力於為高端先進位造業企業提供高純工藝系統的解決方案，2018年上半年其半導體行業收入佔比為69.4%，客戶包括上海華力、中芯國際、長江存儲、合肥長鑫、士蘭微等企業。

相較於盛美半導體和北方華創，至純科技涉足半導體清洗設備領域的時間不算長，據悉其於2015年開始啟動濕法工藝裝備研發，2017年底成立獨立的半導體濕法事業部。

據至純科技在調研活動中透露，其濕法事業部目前共有員工近40人，未來團隊規模有望達到300~400人。其中，槽式清洗設備主要引進日本團隊近20人，團隊人員均有國際大廠相關經驗；單片式清洗設備則與海力士專屬供應商——韓國公司MUJIN合作，雙方均貢獻技術、共享IP。

至純科技表示，目前槽式清洗設備是在日本製造，將來會放在啟東新廠。據悉，至純科技啟東新廠佔地100畝、規劃兩期，產能貢獻主要在系統集成和濕法製造，樂觀估計10月份部分交付使用，明年下半年產能有望開始釋放，但達產仍需過程。

啟東基地產能釋放後，至純科技預計高純系統集成方面的產能將是目前的4~5倍，清洗設備一期設計產能則為年產48台。根據至純科技2017年年報提出的目標，未來5年內實現清洗設備累計銷售200台。

值得一提的是，目前至純科技濕法槽式清洗設備已獲得6台的量產訂單，客戶是中芯國際和萬國半導體，9月下旬交付兩台，樂觀估計今年第四季度或明年第一季度確認收入。根據自身產能及產業鏈調研情況，至純科技認為其2019年清洗設備新增訂單規模將在20台水平。

至純科技表示，公司在半導體清洗設備領域的目標很明確——就是做進口替代，對標的是國際半導體設備巨頭Lam Research和DNS，計劃從零配件到整機，從高端產品到全產品覆蓋，逐步實現國產化。

國產清洗設備與國際的差距

數據顯示，2017年全球半導體清洗設備市場規模為27億美元，隨著工藝節點的升級以及良率要求提高，清洗設備用量需求將持續增加，預計2020年將達到35-40億美元，其中中國市場有望突破600億元人民幣。

據悉，清洗設備在晶圓製造設備中的採購費用佔比約為5%。至純科技指出，從清洗設備的配備量來看，以4萬片產能的產線為例，一般情況下，8寸線匹配50台設備，12寸線國內匹配70台設備左右，包括槽式和單片，國外有的廠商能夠達到120台清洗設備水平。

價格方面，市面上最便宜的單片清洗設備是兩個腔體的50-60萬美元，6-8個腔體的單片式清洗設備的價值大概300-400萬美元，槽式價格100-200萬美元市場價格，一個Fad廠在清洗設備上採購費用需要約2億美元。

縱觀全球清洗設備市場，日系企業佔據主導地位，DNS、Tokyo Electron分別佔據約60%、30%市場份額，剩下的則由美國Lam Research、韓國SEMES等企業瓜分，中國企業與國際水平仍有較大差距。

至純科技表示，目前國外單片式清洗設備已發展到12個、16個腔體了，腔體越多、對應的附屬設備的介質供應也越多，可需要滿足智能化、軟體控制、壓力均等和清洗後的存放等需求。而國產清洗設備，以種類眾多的濕法清洗設備為例，從種類和功能上國產設備目前實現只有其中的10%。

國內的清洗設備企業除了至純科技外，主要廠商還有盛美半導體和北方華創，這「三劍客」正在通過各自的方式發展壯大。

盛美半導體成立於1998年，一直主攻單片式清洗設備，擁有獨創的兆聲波清洗（SAPS）技術、通電氣泡震蕩兆聲波清洗（TEBO）技術，是國內唯一進入14nm產線驗證的清洗設備廠商，在技術上已具備與國際企業競爭的實力。

在產品上，盛美半導體集中在基於SAPS和TEBO技術的單片清洗設備，近三年營收佔比均超過70%；客戶方面，盛美半導體與海力士有著長期合作關係，並已進入長江存儲、中芯國際、華力微電子、長電科技等企業生產線。

儘管盛美半導體在國內清洗設備產業處於領先地位，但與國際巨頭相比，其在規模、產品系列數、利潤和研發投入絕對值上尚不在一個量級。

另觀北方華創，與盛美半導體長期通過自主創新主攻單片清洗設備不同，北方華創作為國內擁有最豐富產品線的半導體設備企業，其清洗設備產品覆蓋了單片和槽式。

2017年8月，北方華創以1500萬美元收購了美國半導體清洗設備企業Akrion，該交易已於今年1月宣布正式完成交割。Akrion在清洗設備方面擁有多年的技術積累和客戶基礎，進一步豐富了北方華創的產品線。

截至目前，北方華創在清洗設備領域，已經形成涵蓋應用於集成電路、先輩封裝、功率器件、微機電系統和半導體照明等半導體領域的8-12英寸批式和單片清洗機產品。

盛美半導體走自主創新之路，北方華創結合創新與吸收、收購，至純科技則基於自身優勢與國際廠商合作，三者均已取得一定成績，但總體而言，國內清洗設備國產化仍有很長的路要走。

不過，隨著半導體產業明顯向中國轉移，國產清洗設備企業將迎來良好的機遇。至純科技在調研中提及，其與下遊客戶的溝通結果來看，2018-2019是建廠高峰期，2019-2021是設備的高峰期，整體行業正進入清潔設備採購期。

如此一來，國產清洗設備企業有望在這波晶圓建廠浪潮中異軍突起。

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