屹唐半導體旗下Mattson Technology推出創新的高產能真空晶元製程技術

來源：內容來自「北京屹唐半導體科技有限公司」，謝謝。

3月18日，Mattson Technology, Inc. 推出全新的系統平台-HydrilisTM。Mattson在干法去膠、選擇性表面處理以及高選擇比干法刻蝕等半導體設備領域保持行業領先，此次推出的HydrilisTM真空傳送平台，業界佔地面積最小、生產效率最高。HydrilisTM平台同時配置多達4個工藝腔、8個晶圓處理工位，可用於並行或串列晶圓加工。所有的paradigmE系列等離子體刻蝕工藝腔、Suprema系列干法去膠和硬掩膜去除工藝腔、NovykaTM 系列表面處理工藝腔以及NovykaTM 系列高選擇比化學干法刻蝕工藝腔，均可集成在HydrilisTM 平台上。

「單位面積產能是半導體晶圓廠大規模量產的關鍵指標之一」，Mattson首席商務官Subhash Deshmukh博士表示，「HydrilisTM 平台兼具生產率最高與佔地面積最小的特點，已經激起全球客戶的極大興趣。今年將有多台設備發送客戶」。

「HydrilisTM 系統的獨特架構與我們的反應腔體工程技術無縫銜接。其專利設計秉承了Mattson在業界首推卓越平台解決方案的傳統」， Mattson首席技術官楊曉晅博士指出，「除了在生產效率和佔地面積方面的優勢外，HydrilisTM 平台可提供前所未有的工藝集成靈活性，這對我們新產品的發展路線至關重要」。

「我們致力於為客戶提供差異化的、適應於大規模量產的半導體製造設備和技術，此次推出的HydrilisTM 平台是我們過去幾年加大產品創新投資的重要成果」，Mattson總裁兼首席執行官陸郝安博士進一步總結說，「這也是我們長期業務計劃中的一個重要里程碑，我們為獲得的市場積極反應感到鼓舞」。

北京屹唐半導體科技有限公司旗下全資子公司Mattson Technology設計、製造和銷售半導體工藝設備，並為客戶提供技術支持和服務。Mattson Technology的干法去膠、等離子刻蝕、快速退火以及毫秒級退火設備在全世界領先的邏輯、存儲器晶圓製造廠中大規模量產應用。Mattson Technology在平台技術上的創新解決了先進半導體製造工藝中大批量生產中的產能和成本問題。

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