ASML 商業機密被中國僱員竊取，導致損失數億歐元

荷蘭財經報紙《荷蘭財經日報》（Financieele Dagblad）周四報道，幾名中國僱員從荷蘭半導體設備製造商ASML竊取了公司機密，導致損失高達數億歐元。

該報聲稱，從這家公司自己開展的調查來看，相關技術已被研發部門的高層中國僱員竊取並泄漏給相關受益方。

但總部位於費爾德霍芬的這家公司稱：「ASML沒有發現泄漏給相關受益方的確鑿證據。」

下面我們通過國際電子商情網的一篇報道來了解下 ASML：

ASML作為全球最大的光刻機設備和服務供應商，不但佔據了全球光刻機80%的市場份額，而且還是唯一能向客戶供應高端EUV（極紫外光）光刻機的企業。當前，一台EUV光刻機售價超過1億美元，而且還相當不好買。EUV光刻機年產量不高，從2013年首批2台EUV光刻機量產以來，到2019年ASML EUV光刻機預計年產量也只有30台。

有一種說法，受國外的核心技術封鎖等限制，ASML並不向中國售賣高端光刻機，所以中國的晶元技術落後於其他國家。轉機出現在去年上半年，中芯國際以1.2億美元的價格搶購到一台EUV光刻機，按照約定ASML將於今年年初交付。

ASML光刻機的市場佔有率獨具優勢，分析其2017年出貨信息可知：2017年全球共出貨294台光刻機，其中近7成出自ASML公司，高端EUV光刻機僅有ASML一家可生產。2017年ASML共生產了198台光刻機，包括：EUV 11台、ArFi 76台、ArF14台、KrF 71台、i-line 26台；2017年佳能i-line光刻機出貨50台，KrF光刻機出貨20台。尼康出貨ArFi光刻機6台，ArF光刻機8台，KrF光刻機2台，i-line光刻機10台。

自2013年技術有了新突破以來，ASML 大約共出貨了47台EUV，2013-2016年出貨18台，2017年出貨11台。根據ASML公布的2018年前三個季度的財報可知，Q1 EUV出貨3台、Q2 出貨4台、Q3出貨5台。截至發稿日，Q4數據暫未公布，預計出貨6台。另外，ASML 2019年將計划出貨30台EUV光刻機。隨著ASML的強勢競爭，尼康和佳能在高端光刻機市場的優勢日益減弱，佳能甚至選擇在2017年把目光聚焦在低端光刻機市場。

通過投資併購進行技術升級

雖然佔據了全球80%的市場份額，但是ASML並非技術壟斷。ASML光刻機設備90%的零部件都依賴外購，光源來自於美國Cymer（2013年，ASML完成對Cymer的收購），光學模組來自德國蔡司，計量設備來自美國是德科技，傳送帶則來自荷蘭VDL集團。同時，ASML也非常重視併購投資以及與其他企業合作的策略，光刻機的研發需要投入巨大的人力物力財力，並事關全球半導體晶元的升級速度。

實際上，ASML也並非一直都一帆風順。1984年，ASML從飛利浦公司半導體部門獨立，獨立後ASML專註研發光刻技術。創立初期ASML與日美同類企業相比，在技術方面稍顯落後，且缺乏充裕的研發資金。為此，ASML決定走輕資產道路，基於該策略再加上母公司飛利浦的雪中送炭，ASML在1995年成功上市。

提升技術最便捷的方式即是通過併購來填補空白，在上市之後ASML開始了一系列的併購和投資。其中，最重要的一樁併購案是2013年以19.5億歐元全資收購美國光學技術供應商Cymer，該起併購為高端EUV光刻機成功量產奠定了基礎。2016年11月ASML收購了 Carl Zeiss SMT 24.9%的股權，ASML承諾將在未來6年內投資2.2億歐元支持Carl Zeiss SMT在光學光刻技術上的研發，同時還將針對Carl Zeiss SMT的其他相關供應鏈投資5.4億歐元。同年11月，ASML完成了對漢微科的收購，以強化其產業鏈的垂直整合能力。ASML併購投資詳情見下表：

三大巨頭聯合投資ASML

關鍵微影技術的研發迫切需要超紫外光（EUV）技術，在全球範圍內只有ASML具備研發EUV光刻機的實力。為此，2012年全球三大晶元巨頭公司英特爾、台積電和三星宣布聯合投資ASML，並分別獲取了ASML 15%、5%、3%的股權。

最終，ASML EUV光刻機有了新的突破，2012年NXE3300B型號的EUV光刻機研製成功，採用22nm光源，數值孔徑為0.33，2013年開始供貨。2017年，更先進的EUV光刻機NXE3400B開始出貨，該機型的解析度為13nm，使得7nm線寬的製程成為現實。2018年10月，台積電宣布基於EUV技術的7nm晶元已經流片成功。採用EUV光刻機的7nm 晶元，比採用DUV光刻機的晶元密度要提高20%，功耗降低6~12%。

ASML的EUV光刻機都供給了誰？

ASML光刻機的客戶來自IDM和Foundry工廠，其中以英特爾、台積電、三星、SK海力士為主。

國際電子商情記者收集整理了2018年ASML 公開的EUV光刻機訂單，發現台積電預定了10台、三星預定了6台、英特爾預定 3台、格芯 1台、中芯國際 1台。值得注意的是，格芯在去年8月對外宣布放棄7nm工藝研發，轉而優化14-12nm工藝。台積電和三星在2018年已經對外宣稱，實現了7nm製程工藝晶元的量產。而英特爾目前仍在努力量產其10nm晶元，不過英特爾堅稱其製程工藝標準相對更加嚴格：英特爾10nm晶元每平方毫米的晶體管數量為1億個，三星與台積電的7nm晶元每平方毫米的晶體管數量也是1億個，因此英特爾的10nm與台積電和三星的7nm相當。此外，值得關注的是中芯國際的訂單是我國訂購到的第一台EUV光刻機訂單，該台設備將助力我國高端晶元自主製造，突破晶元產能限制問題。

雖然此前ASML也有將其他的光刻機產品售賣到中國，但是其主要客戶是台積電中國大陸子公司南京Fab，三星電子中國子公司西安三星城Fab，SK海力士半導體中國子公司無錫Fab等外資工廠。而中芯國際搶購到EUV光刻機從側面佐證了，ASML對中國大陸市場日益重視。2017年，當時的ASML中國區總裁金泳璇也正式澄清，ASML對大陸晶圓廠與國際客戶一視同仁，只要客戶下單EUV要進口到中國完全沒有任何問題，否定了業界流傳的ASML高端光刻機產品實行對中國禁售的說法。

緊接著，2018年上半年ASML在中國新成立了4家分公司，分布在合肥、成都、武漢、晉江四地。ASML想要進一步深耕中國市場的意圖十分明顯，也許未來我們將能看到會有更多的高端光刻機產品陸續進入中國，這也將促使我國晶元產業積極發展。

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