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自動化技術中的納米定位系統:採用EtherCAT的數字壓電控制器

E-727壓電控制器

高精度、基於壓電的定位系統在工業環境中的應用日益增多;半導體製造就是一個典型示例。因此,作為驅動技術和定位系統的解決方案供應商,PI (Physik Instrumente)推出了新型E-727壓電控制器。

如今,數字控制器可由ACS運動控制的所有工業運動控制器通過EtherCAT進行操作,因此可作為「智能驅動器」集成到自動化環境中,從而用於雙軸或三軸基於壓電的納米定位系統,而無論這些系統是與電容式、壓阻式還是應變片感測器一起工作。

P-I控制器帶有兩個針對壓電操作優化過的陷波濾波器,可實現高控制帶寬(20千赫茲)。智能伺服演算法可適當地縮短穩定時間,從而使重複精度達到亞納米範圍。數字控制器的更多亮點包括用於機械部件和電子元件的四階多項式線性化、集成數據記錄器、用於快捷而迅速地交換系統組件的ID晶元以及從屬可編程漂移補償。此外,還包括動態數字線性化選項。在動態周期性應用的情況下,此DDL函數可將相位偏移和軌跡誤差降低到難以識別的水平。這對於掃描務必識別特定位置並再次精確到達該位置的應用尤為重要。

關於PI

PI(Physik Instrumente)是全球精密定位技術市場領先者,多年來以其優質產品而享譽世界。在使用壓電或電機驅動器的標準及OEM產品的開發和製造方面,PI擁有40年的歷史。ACS運動控制是多軸高精度驅動器系統用模塊化運動控制器的全球領軍開發商和製造商,通過收購其大多數股份,PI在為要求最高精度和動態的工業應用提供整套系統的方面又向前邁進了重要一步。PI集團遍布全球,除了在德國設有四個基地之外,在其他國家和地區還設立了十五個銷售和服務分部。

來源:PI普愛納米位移公司

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