電科裝備48所：已建立國產集成電路核心裝備技術體系

集微網消息（文/春夏）7月5日，湖南省第二屆集成電路產業發展高峰論壇舉行，論壇上電科裝備董事長左雷還表示，電科裝備48所在湖南省委和中國電科的支持下，從零開始，目前已經建立起國產集成電路核心裝備技術體系，在集成電路製造關鍵裝備方面實現了重大突破。

（圖片來源：電科裝備）

據悉，電科裝備48所是我國以離子注入機為主的微電子裝備供應商、以MOCVD設備為主的光電子裝備供應商，是我國太陽能光伏製造裝備供應商、磁性材料製造裝備供應商。

對於離子注入機的研製，電科裝備48所或從1970年就開始了，1989年48所自行研製的LC4-700KeV高能離子注入機正式交付中國科學院半導體研究所和電子部光電技術研究所使用。LC4-700KeV高能離子注入機於1989年被評為電子部科技進步特等獎，1992年被評定為國家科技進步二等獎。

據長沙晚報報道，產業鏈各方正在長沙建設我國集成電路「微處理器」產業特色集聚區。（校對/小北）

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