芯源微闖關科創板，產品打破國外廠商壟斷

來源：內容來自「上海證券報」，作者韓遠飛，謝謝。

7月12日，上交所披露瀋陽芯源微電子設備股份有限公司(簡稱「芯源微」)的科創板上市申請獲受理。公司此次擬募資3.78億元，投入高端晶圓處理設備產業化及研發中心項目。其保薦機構為國信證券，選擇了第一套上市標準。

據招股書申報稿，芯源微主要產品為半導體專用設備，包括光刻工序塗膠顯影設備和單片式濕法設備，可用於6英寸及以下單晶圓處理及英寸單晶圓處理。其生產的塗膠顯影設備產品成功打破國外廠商壟斷並填補國內空白，其中在LED晶元製造及集成電路製造後道先進封裝等環節，作為國內廠商主流機型已成功實現進口替代；在集成電路製造前道晶圓加工環節，公司成功突破了前道塗膠顯影設備關鍵技術，成型產品目前正在長江存儲、上海華力等前道晶元製造廠商進行工藝驗證。

芯源微目前產品、技術具有一定的領先性，其作為項目牽頭單位承擔並完成了兩項「02重大專項」項目，分別是「凸點封裝塗膠顯影、單片濕法刻蝕設備的開發與產業化」項目和「300mm晶圓勻膠顯影設備研發」項目。截至2019年3月31日，芯源微已獲得專利授權145項，其中發明專利127項；擁有軟體著作權37項。此外，芯源微還先後主持制定了噴膠機、塗膠機兩項行業標準。

根據中國半導體行業協會發布的2018年中國半導體設備行業數據，芯源微2018年位列國產半導體設備廠商五強。截至2019年3月31日，芯源微設備已累計銷售680餘台套，成功打入包括台積電、長電科技、華天科技、通富微電、晶方科技、華燦光電、乾照光電、澳洋順昌等在內的知名一線大廠；其集成電路製造前道晶圓加工環節用塗膠顯影設備已開發完成，正在長江存儲、上海華力等前道晶元製造廠商進行工藝驗證，目前國內該類設備主要被日本東京電子(TEL)所壟斷。此外，公司集成電路製造前道晶圓加工環節用清洗機產品目前已通過中芯國際(深圳廠)工藝驗證並成功實現銷售。

目前芯源微無控股股東和實際控制人，公司第一大股東為先進位造，持有芯源微電子22.75%股權，實際控制人為鄭廣文，為芯源微電子董事。

財務數據顯示，芯源微電子2016年至2018年及2019年第一季度分別實現營業收入1.48億元、1.90億元、2.10億元、1031萬元，歸屬於母公司所有者的凈利潤分別為493萬元、2627萬元、3048萬元、-903萬元。

芯源微電子此次擬公開發行不超過2100萬股，募資3.78億元，用於高端晶圓處理設備產業化及研發中心項目。

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