日本限制出口已過1個月，三星電子正在測試中國濱化集團氟化氫

文 | 小C君 · 編譯 | Sammy

來源 ：etnews

CINNO Research 產業資訊，日本採取對韓出口限制措施後，韓國國內正積極尋求日本氟化氫替代方案。三星電子與SK海力士等半導體公司緊急派遣採購小組以尋找氟化氫廠商。除了海外企業外，也努力尋求本土企業以實現供應國家多元化。

展示於三星電子工廠的半導體晶圓 （圖片來源：etnews）

日本採取出口限制的氟化氫大體可分為液體氟化氫和氣體氟化氫兩種。氟化氫可以去除半導體晶圓氧化膜以減少chip不良。液體氟化氫由日本的森田和Stella佔據大部分市佔率，而氣體由日本昭和電工佔據大部分市場。若日本限制時，韓國半導體製程將會亮起紅燈。

三星電子和SK海力士在過去一個月時間裡，從最高領導層到採購職員都忙碌於在全球各地尋找其庫存。

截至目前來看，中國大陸和台灣為替代優選方案。據傳，SK海力士在和中國凱聖氟化學接觸以協商供應案，而三星電子則在測試中國濱化集團的產品。兩家企業皆為中國最知名的氟化氫企業。

三星電子為供應多元化也曾接觸過國際化學企業B公司，但最終因條件不符導致中斷協商。韓國材料業界人士表示：中華區企業的純度並非為可替代日本Stella或森田的程度，應該需要先進行緊急採購後逐步進行調節。

而也有相關人士認為：兩家公司連供應TSMC的小供應量企業都不放過，以籌集氟化氫 。除了中華區的供應外，兩家公司也正在尋求韓國本土的替代方案。液體氟化氫的缺口部分將會有韓國Soulbrain彌補，位於忠南的新工廠計劃於9月啟動。據業界人士正式Soulbrain既有供應經驗，而新設的工廠產能規模也是相當。

濕蝕刻氟化氫用途 （圖片來源：etnews）

氣體氟化氫的韓國本土替代方案則被傳由SK Materials供應。公司目標年內供應SK海力士樣品。三星電子也計劃與本土氣體製造商F公司和M公司合作進行測試。

但關鍵還是在尋找氟化氫的完美替代方案之前可以撐多長時間。日本將出口審查時間定為90天，意味著至少要有足夠庫存撐到9月份，並在這期間迅速提升技術力。

因半導體是一種精細製程，必須要慎重選擇以避免良率影響。也有業界推測假設測試品結果滿意的前提下，也依然需要至少2~3個月時間才能應用到製程中。

而韓國認為選擇中華區的替代方案也並非是完全可以放心的方案。若與中國廠商合作時，相當於是變相的扶持中國半導體材料企業，最終會使中國半導體廠商成為最大受益者。

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