「專利解密」面板公司專利戰，惠科無效天馬液晶互連組件專利
【嘉德點評】國內面板產業已經形成京東方、TCL華星的雙雄格局，其他面板廠商混戰，上海天馬微電子互連組件方面的專利被重慶惠科金渝光電科技進行專利無效挑戰。
集微網消息，上海天馬微電子公司是國內知名的液晶顯示面板生產銷售商，主要為電視等設備提供顯示面板，然而最近互連組件方面的專利卻被重慶惠科金渝光電科技宣告專利無效。
圖1 現有互連組件示意圖
在半導體製造領域，器件通常為多層結構且必須保證不同層直接的電性連接，因此需要在各個導電層上形成連通的接觸孔。圖1展示了現有的互聯組件示意圖，通過導電層11、12，絕緣層13、14以及接觸孔15a、15b共同形成了導電互連層16。然而由於受到製造工藝的影響，常會發生接觸孔位置腐蝕、導電層刻蝕角度不達標、靜電難以釋放等問題，導致半導體器件導電層之間發生斷路且通常難以修復，造成器件的不可逆損壞。
為解決半導體技術領域這一問題，上海天馬微電子有限公司於2009年5月12日提出一項名為「互連組件、其製造方法及其修復方法」的發明專利（申請號：200910051400.4），申請人為上海天馬微電子有限公司。
圖2 發明專利提出的互連組件示意圖
圖2是該發明專利針對現有互聯組件改進的示意圖，包括基底300、第一導電層311、第二導電層312、導電層之間的絕緣層、互連層316、接觸孔315a和315b以及修復結構317。接觸孔位於導電層上的絕緣層中，使得互連層和導電層電氣連接。另外，修復結構317也為導電材料，位於第二導電層312上方，並與第一導電層311導電互連。
針對現有技術中由於腐蝕或靜電導致的導電層和互連層之間的斷路問題，該發明專利特別設置了修復結構317。如果由於以上原因導致第二接觸孔315處的第二導電層312和互連層316發生斷路，進而造成第一導電層311和第二導電層3t2斷路；則可通過激光焊接修復結構317和第二導電層312，使修復結構和第二導電層導電互連，從而使得第一導電層311和第二導電層3t2之間的斷路被修復。這種設計結構可以大大減少由於接觸孔處出現斷路導致的產品報廢。
圖3 互連組件修復方法流程圖
同時，專利還提出了組件修複流程。如圖3所示，分別利用激光在第一區域和第二區域處的修復結構處進行激光焊接，從而使互連層在導電層上方的延伸部分與導電層焊接以形成電氣連接，完成結構修復。
天馬微電子的這項專利技術能夠非常方便的解決互連組件出現斷路時較難修復或在修復過程中對互連組件造成損壞的問題，並且已經應用到了多項產品並投入市場，具有較高的技術實用性。
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（校對/holly）
